[實用新型]一種硅片廢料吸附裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920605712.4
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN209691739U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設計）人: 朱亞文;宋進虎
• 申請（專利權）人: 重慶長捷電子有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 44260 深圳市興科達知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉鑫<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：包括收集瓶(1)、真空機(2)、吸料管(3)和抽氣管(4)，所述收集瓶(1)的上端設有旋轉式的瓶蓋(11)，所述吸料管(3)和抽氣管(4)的一端均穿過所述瓶蓋(11)插入到收集瓶(1)內，且所述吸料管(3)的另一端設有吸料口(31)，所述抽氣管(4)的另一端與所述真空機(2)連通。

2.如權利要求1所述的一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：所述瓶蓋(11)上貫穿上下兩端分別設有第一插接管(5)和第二插接管(6)，且第一插接管(5)伸入收集瓶(1)內的一端長于所述第二插接管(6)伸入收集瓶(1)內的一端，所述第二插接管(6)于瓶內的一端設有過濾網(wǎng)(7)，所述吸料管(3)和抽氣管(4)的一端對應裝設于所述第一插接管(5)和第二插接管(6)內與所述收集瓶(1)內連通。

3.如權利要求2所述的一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：所述第一插接管(5)和第二插接管(6)一體成型于所述瓶蓋(11)上。

4.如權利要求2所述的一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：所述第一插接管(5)和第二插接管(6)固定裝設于所述瓶蓋(11)上且通過膠水層密封。

5.如權利要求2所述的一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：所述吸料管(3)和抽氣管(4)均為軟管，且所述吸料管(3)和抽氣管(4)插入所述收集瓶(1)內的一端均裝設有安裝套(8)，安裝套(8)包括硬質套管(81)，硬質套管(81)的上端凸設有限位圈(82)，所述硬質套管(81)外還套設有軟質密封層(83)，所述吸料管(3)和抽氣管(4)的一端通過所述安裝套(8)固定裝設于所述第一插接管(5)和第二插接管(6)內。

6.如權利要求1所述的一種硅片廢料吸附裝置，其特征在于：所述收集瓶(1)包括瓶身(12)和可拆卸式裝設于瓶身(12)上端的瓶頸(13)，所述瓶頸(13)上設有瓶口，所述瓶蓋(11)裝設于所述瓶口上，所述瓶頸(13)的下端設有連接部(131)，且連接部(131)外側和瓶身(12)的內側對應設有連接螺紋，所述瓶頸(13)螺紋連接于所述瓶身(12)上。