[實(shí)用新型]一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920602098.6
• 申請(qǐng)日: 2019-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN210030871U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃先鋒;陳杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津歐亞西斯金屬制品有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/22
• 分類號(hào): C23C14/22;C23C14/52
• 代理公司: 11582 北京久維律師事務(wù)所
• 代理人: 邢江峰

本實(shí)用新型提供一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置，包括氣相沉積箱，電源控制箱，轉(zhuǎn)動(dòng)箱蓋，密封圈，卡接板，可存放掛接移動(dòng)板結(jié)構(gòu)，可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接吸附觀察板結(jié)構(gòu)，可插接防滑調(diào)節(jié)座結(jié)構(gòu)，第一連接管，連接座，磁控管，第二連接管，吊裝座，連接桿和吊裝環(huán)。本實(shí)用新型移動(dòng)板，定向輪和萬(wàn)向輪的設(shè)置，有利于移動(dòng)氣相沉積箱，方便氣相沉積箱在不同的位置進(jìn)行工作，增加移動(dòng)功能；觀察箱門，觀察片和氣相沉積箱的設(shè)置，有利于觀察氣相沉積箱內(nèi)部材料的加工過(guò)程，增加觀察功能；支撐桿，調(diào)節(jié)管，翼形螺栓和放置板的設(shè)置，有利于調(diào)節(jié)放置板的高度，方便根據(jù)材料的加工需要進(jìn)行調(diào)節(jié)工作。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于物理氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置。

背景技術(shù)

物理氣相沉積（PVD）技術(shù)或?yàn)R射（Sputtering）沉積技術(shù)是半導(dǎo)體工業(yè)中最廣為使用的一類薄膜制造技術(shù)，泛指采用物理方法制備薄膜的薄膜制備工藝。而金屬原子的離化率是該項(xiàng)技術(shù)的一種關(guān)鍵指標(biāo)。

但是現(xiàn)有的物理氣相沉積裝置還存在著不方便進(jìn)行移動(dòng)，不方便在使用的過(guò)程中進(jìn)行觀察工作和不方便根據(jù)材料的需要進(jìn)行調(diào)節(jié)工作的問(wèn)題。

因此，發(fā)明一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置顯得非常必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置，以解決現(xiàn)有的物理氣相沉積裝置存在著不方便進(jìn)行移動(dòng)，不方便在使用的過(guò)程中進(jìn)行觀察工作和不方便根據(jù)材料的需要進(jìn)行調(diào)節(jié)工作的問(wèn)題。一種便于移動(dòng)的物理氣相沉積裝置，包括氣相沉積箱，電源控制箱，轉(zhuǎn)動(dòng)箱蓋，密封圈，卡接板，可存放掛接移動(dòng)板結(jié)構(gòu)，可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接吸附觀察板結(jié)構(gòu)，可插接防滑調(diào)節(jié)座結(jié)構(gòu)，第一連接管，連接座，磁控管，第二連接管，吊裝座，連接桿和吊裝環(huán)，所述的電源控制箱螺栓連接在氣相沉積箱的左側(cè)上部；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)箱蓋合頁(yè)連接在電源控制箱的左側(cè)；所述的密封圈膠接在氣相沉積箱的右側(cè)；所述的卡接板螺釘連接在氣相沉積箱的上端右側(cè)；所述的可存放掛接移動(dòng)板結(jié)構(gòu)安裝在氣相沉積箱的下端；所述的可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接吸附觀察板結(jié)構(gòu)安裝在氣相沉積箱的右側(cè)；所述的可插接防滑調(diào)節(jié)座結(jié)構(gòu)安裝在氣相沉積箱的內(nèi)部底端中間位置；所述的第一連接管螺栓連接在連接座的上端中間位置；所述的磁控管螺栓連接在連接座的下端；所述的第一連接管的上端焊接在第二連接管；所述的吊裝座分焊接在氣相沉積箱的上端左右兩側(cè)；所述的連接桿的下端分別螺紋連接在吊裝座的上端內(nèi)部中間位置；所述的吊裝環(huán)分別焊機(jī)在連接桿的上端；所述的可存放掛接移動(dòng)板結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)板，定向輪，萬(wàn)向輪，牽引桿，掛接環(huán)和存放桶，所述的定向輪分別螺栓連接在移動(dòng)板的下端左側(cè)；所述的萬(wàn)向輪分別螺栓連接在移動(dòng)板的下端左側(cè)；所述的牽引桿螺栓連接在移動(dòng)板的上端左側(cè)中間位置；所述的掛接環(huán)貫穿牽引桿的上端內(nèi)部中間位置；所述的存放桶螺栓連接在移動(dòng)板的上端左側(cè)。

優(yōu)選的，所述的可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接吸附觀察板結(jié)構(gòu)包括觀察箱門，觀察片，吸附塊，T型卡接桿，U型把桿和防滑套，所述的觀察片鑲嵌在觀察箱門的內(nèi)部中間位置；所述的吸附塊分別鑲嵌在觀察箱門的上端內(nèi)部中間位置和下端內(nèi)部中間位置；所述的T型卡接桿的下端軸接在觀察箱門的右側(cè)上部前面位置；所述的U型把桿焊接在觀察箱門的右側(cè)前面中間位置；所述的防滑套套接在U型把桿的外壁中間位置。

優(yōu)選的，所述的可插接防滑調(diào)節(jié)座結(jié)構(gòu)包括支撐桿，調(diào)節(jié)管，翼形螺栓，放置板，防滑墊和防脫板，所述的支撐桿的上端插接在調(diào)節(jié)管的下端內(nèi)部中間位置；所述的翼形螺栓螺紋連接在調(diào)節(jié)管的右側(cè)下部；所述的調(diào)節(jié)管的上端焊接在放置板的下端中間位置；所述的防滑墊膠接在放置板的上端；所述的防脫板分別焊接在放置板的上端左右兩側(cè)。

優(yōu)選的，所述的存放桶采用不銹鋼桶；所述的存放桶設(shè)置在牽引桿的右側(cè)。

優(yōu)選的，所述的連接桿采用不銹鋼螺紋桿；所述的吊裝環(huán)采用不銹鋼環(huán)；所述的密封圈采用硅膠圈；所述的卡接板采用正表面右側(cè)開設(shè)有凹槽的不銹鋼板。

優(yōu)選的，所述的氣相沉積箱螺栓連接在移動(dòng)板的右側(cè)中間位置。