[實用新型]一種便于移動的物理氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201920602098.6
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN210030871U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 黃先鋒;陳杰
• 申請（專利權）人: 天津歐亞西斯金屬制品有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/52
• 代理公司: 11582 北京久維律師事務所
• 代理人: 邢江峰

1.一種便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，該便于移動的物理氣相沉積裝置包括氣相沉積箱（1），電源控制箱（2），轉動箱蓋（3），密封圈（4），卡接板（5），可存放掛接移動板結構（6），可轉動卡接吸附觀察板結構（7），可插接防滑調節座結構（8），第一連接管（9），連接座（10），磁控管（11），第二連接管（12），吊裝座（13），連接桿（14）和吊裝環（15），所述的電源控制箱（2）螺栓連接在氣相沉積箱（1）的左側上部；所述的轉動箱蓋（3）合頁連接在電源控制箱（2）的左側；所述的密封圈（4）膠接在氣相沉積箱（1）的右側；所述的卡接板（5）螺釘連接在氣相沉積箱（1）的上端右側；所述的可存放掛接移動板結構（6）安裝在氣相沉積箱（1）的下端；所述的可轉動卡接吸附觀察板結構（7）安裝在氣相沉積箱（1）的右側；所述的可插接防滑調節座結構（8）安裝在氣相沉積箱（1）的內部底端中間位置；所述的第一連接管（9）螺栓連接在連接座（10）的上端中間位置；所述的磁控管（11）螺栓連接在連接座（10）的下端；所述的第一連接管（9）的上端焊接在第二連接管（12）；所述的吊裝座（13）分焊接在氣相沉積箱（1）的上端左右兩側；所述的連接桿（14）的下端分別螺紋連接在吊裝座（13）的上端內部中間位置；所述的吊裝環（15）分別焊機在連接桿（14）的上端；所述的可存放掛接移動板結構（6）包括移動板（61），定向輪（62），萬向輪（63），牽引桿（64），掛接環（65）和存放桶（66），所述的定向輪（62）分別螺栓連接在移動板（61）的下端左側；所述的萬向輪（63）分別螺栓連接在移動板（61）的下端左側；所述的牽引桿（64）螺栓連接在移動板（61）的上端左側中間位置；所述的掛接環（65）貫穿牽引桿（64）的上端內部中間位置；所述的存放桶（66）螺栓連接在移動板（61）的上端左側。

2.如權利要求1所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的可轉動卡接吸附觀察板結構（7）包括觀察箱門（71），觀察片（72），吸附塊（73），T型卡接桿（74），U型把桿（75）和防滑套（76），所述的觀察片（72）鑲嵌在觀察箱門（71）的內部中間位置；所述的吸附塊（73）分別鑲嵌在觀察箱門（71）的上端內部中間位置和下端內部中間位置；所述的T型卡接桿（74）的下端軸接在觀察箱門（71）的右側上部前面位置；所述的U型把桿（75）焊接在觀察箱門（71）的右側前面中間位置；所述的防滑套（76）套接在U型把桿（75）的外壁中間位置。

3.如權利要求1所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的可插接防滑調節座結構（8）包括支撐桿（81），調節管（82），翼形螺栓（83），放置板（84），防滑墊（85）和防脫板（86），所述的支撐桿（81）的上端插接在調節管（82）的下端內部中間位置；所述的翼形螺栓（83）螺紋連接在調節管（82）的右側下部；所述的調節管（82）的上端焊接在放置板（84）的下端中間位置；所述的防滑墊（85）膠接在放置板（84）的上端；所述的防脫板（86）分別焊接在放置板（84）的上端左右兩側。

4.如權利要求1所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的存放桶（66）采用不銹鋼桶；所述的存放桶（66）設置在牽引桿（64）的右側。

5.如權利要求1所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的連接桿（14）采用不銹鋼螺紋桿；所述的吊裝環（15）采用不銹鋼環；所述的密封圈（4）采用硅膠圈；所述的卡接板（5）采用正表面右側開設有凹槽的不銹鋼板。

6.如權利要求1所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的氣相沉積箱（1）螺栓連接在移動板（61）的右側中間位置。

7.如權利要求2所述的便于移動的物理氣相沉積裝置，其特征在于，所述的防滑套（76）采用外壁帶有十字形防滑紋的橡膠套；所述的觀察片（72）采用鋼化玻璃片；所述的吸附塊（73）采用磁鐵塊。