[實用新型]一種新型壓電微泵

有效

• 申請號: 201920587074.8
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN210397047U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 吳垠;周京京;鐘德坤;張磊;舒培
• 申請（專利權）人: 常州威圖流體科技有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/00
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 李浩

1.一種新型壓電微泵，其特征在于，該壓電微泵包括泵殼(1)、壓電元件(2)、基板(3)、撓性板(4)和底板(5)，所述泵殼(1)為絕緣體，所述泵殼(1)、基板(3)、撓性板(4)和底板(5)之間依次密封連接，所述泵殼(1)、基板(3)、撓性板(4)圍成泵腔(6)，所述泵殼(1)下表面安裝有基板(3)，所述基板(3)為導體，所述基板(3)遠離泵殼(1)的一面安裝有撓性板(4)，所述撓性板(4)遠離基板(3)的一面安裝有底板(5)，所述基板(3)靠近泵殼(1)的一面安裝有壓電元件(2)，所述壓電元件(2)位于泵腔(6)內且不與泵殼(1)接觸；

所述泵殼(1)包括出氣口(101)、凹陷(102)和第一電極(103)；

所述泵殼(1)靠近壓電元件(2)的一側開設有凹陷(102)，所述凹陷(102)貫穿泵殼(1)開設有出氣口(101)，所述泵殼(1)側壁安裝有由內至外貫穿泵殼(1)的第一電極(103)，所述第一電極(103)為導體。

2.根據權利要求1所述的一種新型壓電微泵，其特征在于，所述基板(3)包括變形區(301)、外框(302)、雙梁對稱懸臂(303)、第一流道(304)和第二電極(305)；

所述變形區(301)邊部通過若干個雙梁對稱懸臂(303)與外框(302)連接，若干個所述雙梁對稱懸臂(303)均勻的分布在變形區(301)與外框(302)的間隙中，所述變形區(301)遠離壓電元件(2)的一面設置有延伸至變形區(301)邊緣的第一流道(304)，所述外框(302)邊部安裝有第二電極(305)，所述第二電極(305)位于泵腔(6)外部；

所述雙梁對稱懸臂(303)包括梁部(3031)和連接部(3032)；

所述梁部(3031)連接在變形區(301)兩個分離的連接部(3032)上，所述梁部(3031)在變形區(301)和外框(302)的間隙中沿著變形區(301)外周相對延伸，延伸長度相同，所述梁部(3031)末端分別通過連接部(3032)連接在外框(302)上，所述梁部(3031)用于配合連接部(3032)對變形區(301)和外框(302)進行連接。

3.根據權利要求2所述的一種新型壓電微泵，其特征在于，所述基板(3)還包括第一雙坡面凸起(306)，所述第一流道(304)上設置有第一雙坡面凸起(306)，所述第一雙坡面凸起(306)靠近變形區(301)中心坡面的坡度小于遠離變形區(301)中心坡面的坡度。

4.根據權利要求1所述的一種新型壓電微泵，其特征在于，所述撓性板(4)包括進氣口(401)、第一環狀凸起(402)、第二環狀凸起(403)和避讓槽(404)；

所述撓性板(4)彎曲變形最大位移處開設有貫穿撓性板(4)的進氣口(401)，所述撓性板(4)邊部等距離開設有若干個貫穿撓性板的避讓槽(404)，所述撓性板(4)遠離壓電元件(2)的一面上緊貼進氣口(401)邊緣安裝有第一環狀凸起(402)，所述第一環狀凸起(402)外側安裝有第二環狀凸起(403)，所述第二環狀凸起(403)位于撓性板(4)彎曲振動波節處。

5.根據權利要求4所述的一種新型壓電微泵，其特征在于，所述撓性板(4)還包括第二雙坡面凸起(405)，所述撓性板(4)靠近壓電元件(2)的一面設置有第二雙坡面凸起(405)，所述第二雙坡面凸起(405)靠近進氣口(401)中心坡面的坡度小于遠離進氣口(401)中心坡面的坡度。

6.根據權利要求1所述的一種新型壓電微泵，其特征在于，所述底板(5)包括內凹部(501)、第二流道(502)、氣孔(503)和溝槽(504)；

所述底板(5)靠近撓性板(4)的一面上設置有內凹部(501)，所述內凹部(501)沿邊界切線方向至底板(5)外周開設有若干個第二流道(502)，若干個所述第二流道(502)靠近底板(5)外周的一端貫穿開設有氣孔(503)，所述底板(5)靠近撓性板(4)的一面邊部還開設有溝槽(504)，所述溝槽(504)與避讓槽(404)等大且與避讓槽(404)正對設置，所述溝槽(504)與內凹部(501)不連通。