[實用新型]一種新型壓電微泵

有效

• 申請號: 201920587074.8
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN210397047U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 吳垠;周京京;鐘德坤;張磊;舒培
• 申請（專利權）人: 常州威圖流體科技有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/00
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 李浩

本實用新型公開了一種新型壓電微泵，該壓電微泵包括泵殼、壓電元件、基板、撓性板和底板，所述泵殼為絕緣體，所述泵殼、基板、撓性板和底板之間依次密封連接，所述泵殼、基板、撓性板圍成泵腔，所述壓電元件安裝在基板上，本實用新型科學合理，使用安全方便，設置有雙梁對稱懸臂和第二環狀凸起，雙梁對稱懸臂均勻分布可以有效的減弱壓電微泵在工作過程中的振動模態畸變，同時，將第二環狀凸起設置在撓性板的彎曲振動波節處，也可以有效的減弱壓電微泵工作過程中的振動模態畸變，同時，增設第二環狀突起，可以抑制撓性板在流體中的自激共振，具有降噪功能，可以有效的延長壓電微泵的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及流體輸送技術領域，具體是一種新型壓電微泵。

背景技術

壓電泵利用壓電陶瓷的逆壓電效應使壓電振子產生變形，再由變形產生泵腔的容積變化實現流體輸送或者利用壓電振子產生波動來輸送流體，壓電泵具有結構簡單、響應速度快、體積小、無噪音、壓力大、揚程高、不瀉壓、無污染、安裝使用方便等特點，隨著壓電泵技術的逐步完善，壓電泵體積逐漸減小，多種類型的壓電微泵已經面世，被廣泛應用在醫療、化學分析等領域。

已經公布的與壓電微泵相關中國專利，主要關注的問題在如何提高輸出性能，如何縮減體積等方向，關于壓電微泵的使用壽命鮮有關注，而在醫療、化學分析、汽車電子等應用領域對壓電微泵有顯著的壽命需求。中國專利CN101490419B、中國專利CN102597520B、中國專利CA106296241A等所公布的技術方案，通過懸臂將彎曲變形部約束，彎曲變形部正對設置諧振部，諧振部設有進氣小孔的這類壓電微泵，使用壽命600小時左右，由于懸臂梁疲勞斷裂、進氣小孔周邊疲勞破損，最終導致微泵損壞。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型壓電微泵，以解決現有技術中提出的的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型壓電微泵，該壓電微泵包括泵殼、壓電元件、基板、撓性板和底板，所述泵殼為絕緣體，所述泵殼、基板、撓性板和底板之間依次密封連接，所述泵殼、基板、撓性板圍成泵腔，所述泵殼下表面安裝有基板，所述基板為導體，所述基板遠離泵殼的一面安裝有撓性板，所述撓性板遠離基板的一面安裝有底板，所述基板靠近泵殼的一面安裝有壓電元件，所述壓電元件位于泵腔內且不與泵殼接觸；

所述泵殼包括出氣口、凹陷和第一電極；

所述泵殼靠近壓電元件的一側開設有凹陷，所述凹陷貫穿泵殼開設有出氣口，所述泵殼側壁安裝有由內至外貫穿泵殼的第一電極，所述第一電極位于泵腔內的末端連接在壓電元件與變形區彎曲振動波節處，所述第一電極為導體。

作為優選技術方案，所述基板包括變形區、外框、雙梁對稱懸臂、第一流道和第二電極；

所述變形區邊部通過若干個雙梁對稱懸臂與外框連接，若干個所述雙梁對稱懸臂均勻的分布在變形區與外框的間隙中，若干個雙梁對稱懸臂均勻分布可以減弱振動模態畸變，所述變形區遠離壓電元件的一面設置有延伸至變形區邊緣的第一流道，所述外框邊部安裝有第二電極，所述第二電極位于泵腔外部；

所述雙梁對稱懸臂包括梁部和連接部；

所述梁部連接在變形區兩個分離的連接部上，所述梁部在變形區和外框的間隙中沿著變形區外周相對延伸，延伸長度相同，所述梁部末端分別通過連接部連接在外框上。

作為優選技術方案，所述梁部與連接部、連接部與變形區和連接部與外框連接處均以圓角過度，所述連接部的寬度大于梁部的寬度，通過連接處的圓角過度和加大連接部寬度，可以減小懸臂根部應力集中，延長壓電微泵壽命。

作為優選技術方案，所述基板還包括第一雙坡面凸起，所述第一流道上設置有第一雙坡面凸起，所述第一雙坡面凸起靠近變形區中心坡面的坡度小于遠離變形區中心坡面的坡度，該結構可以有效的的防止流體逆流。