[實(shí)用新型]單晶爐石英坩堝的升降裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920585430.2
• 申請(qǐng)日: 2019-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN210085624U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏海寧;林希憲;張艷輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00
• 代理公司: 北京淮海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32205
• 代理人: 華德明

本實(shí)用新型公開一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，包括底座，所述底座的上表面中部設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)的上端面設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接有坩堝，底座的上端面設(shè)有螺桿，螺桿的外側(cè)面上端套接有環(huán)形定位板，螺桿的外側(cè)面靠近環(huán)形定位板的下表面的一端螺紋連接有第二螺母，螺桿的外側(cè)面上端螺紋連接有第一螺母，本單晶爐石英坩堝的升降裝置，結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，使用時(shí)占用空間小，可以對(duì)工作中的坩堝起到很好的減震作用，同時(shí)又能對(duì)坩堝進(jìn)行升降調(diào)節(jié)，通過帶頭螺柱可以將萬向球軸承緊壓在坩堝的外表面，方便了坩堝的定位，通過帶頭螺柱可以對(duì)大小不同的坩堝進(jìn)行卡接定位。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶爐內(nèi)的坩堝技術(shù)改進(jìn)領(lǐng)域，具體為一種單晶爐石英坩堝的升降裝置。

背景技術(shù)

眾所周知，石英坩堝具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用越來越廣泛。尤其是生產(chǎn)單晶硅的單晶爐中的重要部件。然而現(xiàn)有的單晶爐中，石英坩堝固定安裝在單晶爐內(nèi)，石英坩堝在豎直方向上的高度無法進(jìn)行調(diào)節(jié)；因此當(dāng)石英坩堝內(nèi)液體較少時(shí)，析出的單晶硅位于單晶爐內(nèi)較低的位置，造成單晶硅的取出困難。同時(shí)現(xiàn)有石英坩堝大都不具備減震功能，石英坩堝在旋轉(zhuǎn)時(shí)有可能發(fā)生搖晃，從而導(dǎo)致原料從石英坩堝內(nèi)飛出，影響單晶硅的生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，可以有效對(duì)坩堝進(jìn)行減震固定，給單晶硅的安全生產(chǎn)使用帶來了便利，而且可以很方便的進(jìn)行坩堝升降，進(jìn)一步提升了本實(shí)用新型的使用效率，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，包括底座，所述底座的上表面中部設(shè)有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)的上端面設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸出軸連接有坩堝，底座的上端面設(shè)有螺桿，螺桿的外側(cè)面上端套接有環(huán)形定位板，螺桿的外側(cè)面靠近環(huán)形定位板的下表面的一端螺紋連接有第二螺母，螺桿的外側(cè)面上端螺紋連接有第一螺母，第一螺母的下端面與環(huán)形定位板的上表面之間設(shè)有第一減震彈簧，環(huán)形定位板的上表面設(shè)有定位肋板，定位肋板通過設(shè)置在其外側(cè)面中部連接有帶頭螺柱,帶頭螺柱的外側(cè)面靠近坩堝的一端連接有萬向球軸承。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述底座的上表面設(shè)有安裝孔，安裝孔的數(shù)量為三個(gè)，三個(gè)安裝孔均勻分布在底座的上表面。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述升降機(jī)構(gòu)由液壓伸縮桿構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由步進(jìn)電機(jī)構(gòu)成。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述螺桿的數(shù)量為三個(gè)，三個(gè)螺桿均勻分布在底座的上表面。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的下表面與底座的上表面之間設(shè)有伸縮桿。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述伸縮桿的數(shù)量為三個(gè)，三個(gè)伸縮桿均勻分布在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的下表面。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述底座的上表面靠近螺桿的一端設(shè)有第一內(nèi)螺紋套筒，第一內(nèi)螺紋套筒的內(nèi)側(cè)面與螺桿的外側(cè)面下端螺紋連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述定位肋板的外側(cè)面中部設(shè)有第二內(nèi)螺紋套筒，第二內(nèi)螺紋套筒的內(nèi)側(cè)面與帶頭螺柱的完成螺紋連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述定位肋板的數(shù)量為三個(gè)，三個(gè)定位肋板均勻分布在環(huán)形定位板的上表面。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出軸與坩堝的下端面采用定位法蘭盤固定連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，使用時(shí)占用空間小，可以對(duì)工作中的坩堝起到很好的減震作用，同時(shí)又能對(duì)坩堝進(jìn)行升降調(diào)節(jié)，通過帶頭螺柱可以將萬向球軸承緊壓在坩堝的外表面，方便了坩堝的定位，通過帶頭螺柱可以對(duì)大小不同的坩堝進(jìn)行卡接定位。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；