[實用新型]單晶爐石英坩堝的升降裝置

有效

• 申請號: 201920585430.2
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN210085624U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 魏海寧;林希憲;張艷輝
• 申請（專利權）人: 徐州晶睿半導體裝備科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京淮海知識產權代理事務所(普通合伙) 32205
• 代理人: 華德明

1.一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，包括底座(3)，其特征在于，底座(3)的上表面中部設有升降機構(17)，升降機構(17)的上端面設有旋轉機構(16)，旋轉機構(16)的輸出軸連接有坩堝(7)，底座(3)的上端面設有螺桿(5)，螺桿(5)的外側面上端套接有環形定位板(6)，螺桿(5)的外側面靠近環形定位板(6)的下表面的一端螺紋連接有第二螺母(11)，螺桿(5)的外側面上端螺紋連接有第一螺母(9)，第一螺母(9)的下端面與環形定位板(6)的上表面之間設有第一減震彈簧(10)，環形定位板(6)的上表面設有定位肋板(2)，定位肋板(2)通過設置在其外側面中部連接有帶頭螺柱(1),帶頭螺柱(1)的外側面靠近坩堝(7)的一端連接有萬向球軸承(8)。

2.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，底座(3)的上表面設有安裝孔(4)，安裝孔(4)的數量為三個，三個安裝孔(4)均勻分布在底座(3)的上表面。

3.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，升降機構(17)由液壓伸縮桿構成，旋轉機構(16)由步進電機構成。

4.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，螺桿(5)的數量為三個，三個螺桿(5)均勻分布在底座(3)的上表面。

5.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，旋轉機構(16)的下表面與底座(3)的上表面之間設有伸縮桿(12)。

6.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，伸縮桿(12)的數量為三個，三個伸縮桿(12)均勻分布在旋轉機構(16)的下表面。

7.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，底座(3)的上表面靠近螺桿(5)的一端設有第一內螺紋套筒(14)，第一內螺紋套筒(14)的內側面與螺桿(5)的外側面下端螺紋連接。

8.根據權利要求7所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，定位肋板(2)的外側面中部設有第二內螺紋套筒(15)，第二內螺紋套筒(15)的內側面與帶頭螺柱(1)的完成螺紋連接。

9.根據權利要求7所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，定位肋板(2)的數量為三個，三個定位肋板(2)均勻分布在環形定位板(6)的上表面。

10.根據權利要求1所述的一種單晶爐石英坩堝的升降裝置，其特征在于，旋轉機構(16)的動力輸出軸與坩堝(7)的下端面采用定位法蘭盤(13)固定連接。