[實用新型]一種硅片加工設備

有效

• 申請號: 201920582704.2
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN209774203U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 石堅;朱棣;李杰;于友;劉世偉
• 申請（專利權）人: 山東九思新材料科技有限責任公司
• 主分類號: B24B7/20
• 分類號: B24B7/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04;B24B41/00
• 代理公司: 37249 濟南舜昊專利代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 張營磊

本實用新型涉及硅片生產技術領域，具體是一種硅片加工設備，包括機架，所述機架上安裝有作業架，所述機架的底部安裝有工作臺，所述作業架橫向安裝有傳動螺桿，所述傳動螺桿的螺紋段通過螺紋連接安裝有傳動套，所述傳動套的底端安裝有固定架，所述固定架上安裝有作業機頭，所述作業機頭內置打磨電機，所述打磨電機的驅動端安裝有打磨輥，所述作業架的頂部側邊安裝有驅動電機，所述驅動電機的驅動端安裝有傳動斜齒輪，所述傳動螺桿的非螺紋段分別安裝有第一從動斜齒輪和第二從動斜齒輪，所述傳動斜齒輪分別與第一從動斜齒輪和第二從動斜齒輪呈交替式嚙合。本實用新型能夠批量性對硅片元件進行打磨作業，同時保證作業的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及硅片生產技術領域，具體是一種硅片加工設備。

背景技術

隨著集成電路的發展，集成電路芯片不斷向高集成化、高密度化及高性能方向發展，集成電路是現代信息產業的基礎，集成電路所用的材料主要是硅、鍺和砷化鎵等，集成電路絕大部分都采用硅片，對硅片表面的平面度有很高的要求，以此需要對切割后的硅片進行打磨，傳統硅片打磨裝置在工作的過程中穩定性不足，硅片打磨過程中不便于安裝與拆卸。

中國專利(授權公告號：CN208005390U)公布了一種硅片切割用打磨裝置，通過緩沖減震機構提供硅片作業時的穩定性，但是其實際作業存在一定的缺陷，該專利為單工位作業機構，對于現有工藝化生產的流水線作業方式，無法有效適應，作業效率較低，無法融入道整個硅片加工流程中。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片加工設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種硅片加工設備，包括機架，所述機架上安裝有作業架，所述機架的底部安裝有工作臺，所述作業架橫向安裝有傳動螺桿，所述傳動螺桿的螺紋段通過螺紋連接安裝有傳動套，所述傳動套的底端安裝有固定架，所述固定架上安裝有作業機頭，所述作業機頭內置打磨電機，所述打磨電機的驅動端安裝有打磨輥，所述作業架的頂部側邊安裝有驅動電機，所述驅動電機的驅動端安裝有傳動斜齒輪，所述傳動斜齒輪為不完全齒輪并且其齒紋周長為輪盤周長的一半，所述傳動螺桿的非螺紋段分別安裝有第一從動斜齒輪和第二從動斜齒輪，所述傳動斜齒輪分別與第一從動斜齒輪和第二從動斜齒輪呈交替式嚙合，所述機架的左右側板的內壁設置有限位導軌，所述作業架左右側壁上均安裝有限位滑塊，所述限位滑塊嵌入至相應的限位導軌內，所述作業架的頂部安裝有傳動板，所述傳動板上安裝有傳動齒條，所述機架的頂部安裝有傳動架，所述傳動架上安裝有傳動齒輪，所述傳動齒條與傳動齒輪相嚙合。

作為本實用新型進一步的方案：所述作業架的頂部設置有導向槽，所述傳動套的頂部連接安裝有導向塊，所述導向塊嵌合安裝在導向槽內。

作為本實用新型進一步的方案：所述工作臺上安裝有若干道夾持裝置，所述夾持裝置內置有驅動氣缸，所述驅動氣缸的驅動端安裝有驅動桿，所述驅動桿的外桿端安裝有基板，所述基板的兩端安裝有內傳動連桿，所述夾持裝置兩側安裝有外傳動連桿，所述內傳動連桿與外傳動連桿通過活動栓相連接，所述所述內傳動連桿與外傳動連桿的連接端再通過活動栓安裝有夾持桿架，所述夾持桿架的桿端安裝有夾持鉗。

作為本實用新型進一步的方案：所述驅動桿上纏繞有緩沖彈簧，所述緩沖彈簧的一端與驅動氣缸的底板相連接，所述緩沖彈簧的另一端安裝在基板的內平面上。

作為本實用新型再進一步的方案：所述基板的外平面中間位置安裝有直桿，所述直桿的桿端安裝有吸盤。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

一、本申請通過交替式齒輪傳動，從而使得螺紋傳動機構不斷變換傳動方向，進而帶動作業機頭呈周期性作業，在批量性對硅片元件進行打磨作業的同時，也保證了打磨精度，便于作業人員操控。