[實用新型]一種硅片加工設備

有效

• 申請號: 201920582704.2
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN209774203U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 石堅;朱棣;李杰;于友;劉世偉
• 申請（專利權）人: 山東九思新材料科技有限責任公司
• 主分類號: B24B7/20
• 分類號: B24B7/20;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04;B24B41/00
• 代理公司: 37249 濟南舜昊專利代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 張營磊

1.一種硅片加工設備，包括機架(1)，所述機架(1)上安裝有作業架(2)，所述機架(1)的底部安裝有工作臺(4)，所述作業架(2)橫向安裝有傳動螺桿(21)，所述傳動螺桿(21)的螺紋段通過螺紋連接安裝有傳動套(26)，所述傳動套(26)的底端安裝有固定架(27)，所述固定架(27)上安裝有作業機頭(28)，其特征在于，所述作業機頭(28)內置打磨電機(29)，所述打磨電機(29)的驅動端安裝有打磨輥(31)，所述作業架(2)的頂部側邊安裝有驅動電機(24)，所述驅動電機(24)的驅動端安裝有傳動斜齒輪(25)，所述傳動斜齒輪(25)為不完全齒輪并且其齒紋周長為輪盤周長的一半，所述傳動螺桿(21)的非螺紋段分別安裝有第一從動斜齒輪(22)和第二從動斜齒輪(23)，所述傳動斜齒輪(25)分別與第一從動斜齒輪(22)和第二從動斜齒輪(23)呈交替式嚙合，所述作業架(2)的頂部安裝有傳動板(14)，所述傳動板(14)上安裝有傳動齒條(15)，所述機架(1)的頂部安裝有傳動架(16)，所述傳動架(16)上安裝有傳動齒輪(17)，所述傳動齒條(15)與傳動齒輪(17)相嚙合。

2.根據權利要求1所述的硅片加工設備，其特征在于，所述機架(1)的左右側板(11)的內壁設置有限位導軌(12)，所述作業架(2)左右側壁上均安裝有限位滑塊(13)，所述限位滑塊(13)嵌入至相應的限位導軌(12)內。

3.根據權利要求1所述的硅片加工設備，其特征在于，所述作業架(2)的頂部設置有導向槽(33)，所述傳動套(26)的頂部連接安裝有導向塊(32)，所述導向塊(32)嵌合安裝在導向槽(33)內。

4.根據權利要求1-3任一所述的硅片加工設備，其特征在于，所述工作臺(4)上安裝有若干道夾持裝置(41)，所述夾持裝置(41)內置有驅動氣缸(42)，所述驅動氣缸(42)的驅動端安裝有驅動桿(43)，所述驅動桿(43)的外桿端安裝有基板(45)，所述基板(45)的兩端安裝有內傳動連桿(49)，所述夾持裝置(41)兩側安裝有外傳動連桿(48)，所述內傳動連桿(49)與外傳動連桿(48)通過活動栓相連接，所述內傳動連桿(49)與外傳動連桿(48)的連接端再通過活動栓安裝有夾持桿架(51)，所述夾持桿架(51)的桿端安裝有夾持鉗(52)。

5.根據權利要求4所述的硅片加工設備，其特征在于，所述驅動桿(43)上纏繞有緩沖彈簧(44)，所述緩沖彈簧(44)的一端與驅動氣缸(42)的底板相連接，所述緩沖彈簧(44)的另一端安裝在基板(45)的內平面上。

6.根據權利要求5所述的硅片加工設備，其特征在于，所述基板(45)的外平面中間位置安裝有直桿(46)，所述直桿(46)的桿端安裝有吸盤(47)。