[實(shí)用新型]基于光電器件中的晶圓壓片器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920576826.0
• 申請(qǐng)日: 2019-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN209487478U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董路兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市鳳翔光電電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 深圳市鼎智專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44411
• 代理人: 曹勇

本實(shí)用新型公布了一種基于光電器件中的晶圓壓片器，中部圓孔貫通的壓片底座，所述壓片底座的圓孔內(nèi)通過彈性壓片搭載有與壓片底座端部齊平的下壓板；位于圓筒內(nèi)擠壓下壓板的速干罩，所述速干罩內(nèi)設(shè)置有螺紋，上壓內(nèi)筒與速干罩螺紋連接、并伸入所述圓孔，所述上壓內(nèi)筒側(cè)壁設(shè)有調(diào)節(jié)上壓內(nèi)筒伸入圓孔距離的壓片撥桿，所述壓片底座上開設(shè)有壓片撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)的缺口槽；本實(shí)用新型的目的是提供一種基于光電器件中的晶圓壓片器，使得在晶圓與蓋板對(duì)齊后，通過手動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)或氣動(dòng)元件間接推動(dòng)的方式進(jìn)行壓片，以提高壓片質(zhì)量和效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于晶圓貼片領(lǐng)域，特別涉及對(duì)晶圓片與玻璃蓋板的貼合，具體為一種基于光電器件中的晶圓壓片器。

背景技術(shù)

芯片由晶圓與蓋板通過UV膠水粘接形成，貼片質(zhì)量直接影響光電器件中芯片的可靠性，晶圓的貼片過程是，在晶圓和蓋板之間涂抹一層UV膠水，對(duì)齊后，進(jìn)行按壓、貼合，然而現(xiàn)有的貼片機(jī)由于直接采用氣動(dòng)元件推壓的方式，導(dǎo)致在壓片過程時(shí)，膠水厚度不一，貼片效果不良，鑒于此，現(xiàn)提供一種晶圓壓片器，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供了一種基于光電器件中的晶圓壓片器，使得在晶圓與蓋板對(duì)齊后，通過手動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)或氣動(dòng)元件間接推動(dòng)的方式進(jìn)行壓片，以提高壓片質(zhì)量和效率。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：包括：

中部圓孔貫通的壓片底座，所述壓片底座的圓孔內(nèi)通過彈性壓片搭載有與壓片底座端部齊平的下壓板；

位于圓筒內(nèi)擠壓下壓板的速干罩，所述速干罩內(nèi)設(shè)置有螺紋，上壓內(nèi)筒與速干罩螺紋連接、并伸入所述圓孔，所述上壓內(nèi)筒側(cè)壁設(shè)有調(diào)節(jié)上壓內(nèi)筒伸入圓孔距離的壓片撥桿，所述壓片底座上開設(shè)有壓片撥桿轉(zhuǎn)動(dòng)的缺口槽。

進(jìn)一步的，所述下壓板上端開設(shè)有凹槽，下端具有與凹槽和外部連通的多個(gè)過風(fēng)孔。

進(jìn)一步的，所述速干罩內(nèi)具有向下設(shè)置的風(fēng)扇，上端設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口。

進(jìn)一步的，所述的過風(fēng)孔為上小下大的開口。

進(jìn)一步的，所述的速干罩罩壁上設(shè)置有連接柱，所述連接柱上開設(shè)有上、下貫通的螺紋孔，鎖緊螺栓穿過螺紋孔連接壓片底座。

進(jìn)一步的，所述壓片底座四角分別連接導(dǎo)柱。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果：

1、通過轉(zhuǎn)動(dòng)壓片撥桿，進(jìn)行壓片，使得下壓力度得到有效控制，防止壓力過大或過小，提高壓片質(zhì)量。

2、風(fēng)扇的設(shè)置位置，加大了吹風(fēng)區(qū)域，大大提高了晶圓貼片的凝固速度。

3、壓片底座和速干罩為可拆卸連接，以便進(jìn)行快速更換和維護(hù)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為現(xiàn)有技術(shù)彈性壓片的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中所述文字標(biāo)注表示為：1、壓片底座；2、速干罩；3、連接柱；4、螺紋孔；5、進(jìn)風(fēng)口；6、凹槽；7、風(fēng)扇；8、上壓內(nèi)筒；9、下壓板；10、過風(fēng)孔；11、彈性壓片；12、缺口槽；13、壓片撥桿；14、導(dǎo)柱；15、晶圓。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應(yīng)對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍有任何的限制作用。

如圖1-圖3所示，本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)為：包括：