[實用新型]基于光電器件中的晶圓壓片器有效
| 申請號： | 201920576826.0 | 申請日： | 2019-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN209487478U | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發明（設計）人： | 董路兵 | 申請（專利權）人： | 深圳市鳳翔光電電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智專利代理事務所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 曹勇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓片 晶圓 圓孔 光電器件 壓片器 速干 底座 本實用新型 下壓板 撥桿 內筒 伸入 彈性壓片 底座端部 螺紋連接 內筒側壁 氣動元件 對齊 缺口槽 蓋板 螺紋 齊平 有壓 轉動 擠壓 貫通 | ||
1.一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，包括：
中部圓孔貫通的壓片底座(1)，所述壓片底座(1)的圓孔內通過彈性壓片(11)搭載有與壓片底座(1)端部齊平的下壓板(9)；
位于圓筒內擠壓下壓板(9)的速干罩(2)，所述速干罩(2)內設置有螺紋，上壓內筒(8)與速干罩(2)螺紋連接、并伸入所述圓孔，所述上壓內筒(8)側壁設有調節上壓內筒(8)伸入圓孔距離的壓片撥桿(13)，所述壓片底座(1)上開設有壓片撥桿(13)轉動的缺口槽(12)。
2.根據權利要求1所述的一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，所述下壓板(9)上端開設有凹槽(6)，下端具有與凹槽(6)和外部連通的多個過風孔(10)。
3.根據權利要求2所述的一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，所述速干罩(2)內具有向下設置的風扇(7)，上端設置有進風口(5)。
4.根據權利要求2或3所述的一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，所述的過風孔(10)為上小下大的開口。
5.根據權利要求1所述的一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，所述的速干罩(2)罩壁上設置有連接柱(3)，所述連接柱(3)上開設有上、下貫通的螺紋孔(4)，鎖緊螺栓穿過螺紋孔(4)連接壓片底座(1)。
6.根據權利要求1所述的一種基于光電器件中的晶圓壓片器，其特征在于，所述壓片底座(1)四角分別連接導柱(14)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
