[實用新型]單銀low-e中空玻璃磁控濺射鍍膜機

有效

• 申請號: 201920563222.2
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN210367889U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 郭博;郭亞霓;郭超
• 申請（專利權）人: 江陰沐祥節能裝飾工程有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/24;C23C14/18
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 王威欽

1.單銀low-e中空玻璃磁控濺射鍍膜機，其特征在于，包括機臺、設置在機臺上的真空室，真空室其上部設置至少二十個陰極靶，與真空室連接設有呈波紋管形式的抽氣管，抽氣管的另一端與分子泵相連，分子泵通過呈波紋管形式的連接管與羅茨泵相連；真空室底部中心位置轉動設有樣品臺，樣品臺下部設有加熱源；真空室底板上固定連接有至少三塊蒸鍍膜收集板，蒸鍍膜收集板上固定連接加熱隔板。

2.根據權利要求1所述的單銀low-e中空玻璃磁控濺射鍍膜機，其特征在于，所述陰極靶數量為二十至二十五個；所述樣品臺及蒸鍍膜收集板采用塞鋼制成。

3.根據權利要求2所述的單銀low-e中空玻璃磁控濺射鍍膜機，其特征在于，所述蒸鍍膜收集板呈角鋼狀，加熱隔板豎直設置；所述加熱源為內置加熱絲的加熱盤，加熱隔板內設置加熱絲；抽氣管及連接管上設置截止閥或氣動插板閥。

4.根據權利要求3所述的單銀low-e中空玻璃磁控濺射鍍膜機，其特征在于，所述樣品臺的數量與蒸鍍膜收集板的數量相同；羅茨泵、分子泵、真空室的外表面均設置有標識層；真空室其外表面固定設置驅動電機及減速機，驅動電機與減速機相連，減速機的輸出軸與齒輪齒條機構相連，樣品臺的轉軸上固定連接有與齒輪齒條機構相連的輔助齒輪；驅動電機的外表面也設置有標識層，羅茨泵、分子泵、真空室及驅動電機上的標識層其標識不同。