[實(shí)用新型]一種整片晶圓剝離花籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920561271.2
• 申請(qǐng)日: 2019-04-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209607714U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳春艷;曲迪;陳墨;白國(guó)人;閆青芝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 12101
• 代理人: 許愛(ài)文

1.一種整片晶圓剝離花籃，其特征在于：包括在豎直方向相隔一定間距連接的晶圓下托盤和晶圓上卡臺(tái)；在晶圓下托盤上端面的相對(duì)兩側(cè)設(shè)有連接卡件；所述連接卡件的一端與晶圓下托盤的上端邊緣固定，另一端與晶圓上卡臺(tái)的下端邊緣固定；晶圓下托盤沿豎直方向設(shè)有通孔；整片晶圓卡合在兩個(gè)連接卡件之間，晶圓的待剝離面向下放置。

2.如權(quán)利要求1所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：還包括可拆卸的提梁；所述提梁包括水平的第一提手和相對(duì)設(shè)置在晶圓兩側(cè)的連接桿；兩個(gè)所述連接桿所在徑向與兩個(gè)連接卡件所在徑向互相垂直。

3.如權(quán)利要求2所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：所述連接桿的底端向晶圓一側(cè)設(shè)有卡臺(tái)；晶圓上卡臺(tái)的底面設(shè)有與所述卡臺(tái)匹配的卡槽。

4.如權(quán)利要求3所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：所述卡臺(tái)卡合在晶圓兩側(cè)。

5.如權(quán)利要求2所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：所述第一提手的長(zhǎng)度小于兩個(gè)連接桿之間的距離；兩個(gè)所述連接桿之間還設(shè)有第二提手；所述第二提手與第一提手以一定間隔平行設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：晶圓下托盤和晶圓上卡臺(tái)均為圓錐臺(tái)形；晶圓上卡臺(tái)的下端直徑小于晶圓下托盤的上端直徑。

7.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：還包括均勻設(shè)在晶圓下托盤底端的若干花籃支架。

8.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的整片晶圓剝離花籃，其特征在于：所述晶圓上卡臺(tái)沿豎直方向設(shè)有可以監(jiān)視工作情況的觀察孔。