[實(shí)用新型]一種量子芯片檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920558779.7
• 申請(qǐng)日: 2019-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN209927980U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥本源量子計(jì)算科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開了一種量子芯片檢測(cè)裝置，屬于檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，包括探針卡槽盒、探針裝置和檢測(cè)裝置，探針卡槽盒包括底板、蓋板和連接器，底板上開有若干用于放置量子芯片的卡槽；蓋板可拆卸蓋在底板上開有卡槽的表面，蓋板上與底板上的各卡槽相對(duì)位置處開有通孔；各連接器分別可拆卸安裝在蓋板上的各通孔內(nèi)，連接器一端設(shè)有探針接頭，另一端設(shè)有一對(duì)接觸針；探針裝置包括探針座、探針和探針移動(dòng)裝置，探針固定在探針移動(dòng)裝置上，并在探針移動(dòng)裝置的帶動(dòng)下移動(dòng)至探針卡槽盒的上方與探針接頭連接；檢測(cè)裝置與探針電連接；本實(shí)用新型能夠避免采用移動(dòng)探針與量子芯片表面極板直接接觸的方式對(duì)量子芯片進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)量子芯片的檢測(cè)更加安全、穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，特別是一種量子芯片檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

量子芯片是量子計(jì)算機(jī)的基本構(gòu)成單元，是以量子態(tài)的疊加效應(yīng)為原理，以量子比特為信息處理的載體的處理器，量子芯片主要包含超導(dǎo)量子芯片、半導(dǎo)體量子芯片、量子點(diǎn)芯片、離子阱及NV(金剛石)色心等。

在之前申請(qǐng)的專利中提供了一種量子芯片測(cè)試裝置，包括量子芯片放置臺(tái)、探針裝置和檢測(cè)裝置；述量子芯片放置臺(tái)表面開有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述探針裝置包括用于安裝所述量子芯片放置臺(tái)的探針座、至少一對(duì)探針和探針移動(dòng)裝置，所述探針固定在所述探針移動(dòng)裝置上，并在所述探針移動(dòng)裝置的帶動(dòng)下移動(dòng)至所述卡槽的上方并與放置在所述卡槽內(nèi)的量子芯片接觸；所述檢測(cè)裝置與所述探針電連接；其通過移動(dòng)探針使得探針直接與量子芯片的極板接觸的方式進(jìn)行檢測(cè)。

現(xiàn)有技術(shù)的問題在于，通過移動(dòng)探針直接與量子芯片的極板接觸，由于所述探針的觸頭較小，與量子芯片極板的接觸位置比較細(xì)微，與量子芯片表面接觸不夠穩(wěn)定，并且探針與量子芯片表面的接觸壓力不好控制，如果壓力過大可能會(huì)對(duì)量子芯片造成結(jié)構(gòu)損壞，同時(shí)，裸露的量子芯片容易受到外界環(huán)境的干擾。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種量子芯片檢測(cè)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，它能夠避免采用移動(dòng)探針與量子芯片表面極板直接接觸的方式對(duì)量子芯片進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)量子芯片的檢測(cè)更加安全、穩(wěn)定。

一種量子芯片檢測(cè)裝置，包括探針卡槽盒、探針裝置和檢測(cè)裝置；

所述探針卡槽盒包括底板、蓋板和連接器，所述底板上開有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述蓋板可拆卸蓋在所述底板上開有卡槽的表面，所述蓋板上與所述底板上的各所述卡槽相對(duì)位置處開有通孔；各所述連接器分別可拆卸安裝在所述蓋板上的各所述通孔內(nèi)，所述連接器遠(yuǎn)離底板的一端設(shè)有探針接頭，靠近底板的一端設(shè)有一對(duì)接觸針，各所述接觸針在所述蓋板蓋合在所述底板上后，分別與放置在所述卡槽內(nèi)的量子芯片的正極板和負(fù)極板接觸并電連；

所述探針裝置包括用于安裝所述探針卡槽盒的探針座、探針和探針移動(dòng)裝置，所述探針固定在所述探針移動(dòng)裝置上，并在所述探針移動(dòng)裝置的帶動(dòng)下移動(dòng)至所述探針卡槽盒的上方與所述探針接頭連接；

所述檢測(cè)裝置與所述探針電連接。

進(jìn)一步的，各所述卡槽為矩形沉槽。

進(jìn)一步的，所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均勻設(shè)置在所述底板的表面，其中：每一行中兩相鄰所述卡槽間的距離相等，每一列中兩相鄰所述卡槽間的距離相等。

進(jìn)一步的，各所述卡槽均相對(duì)于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向傾斜設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述探針裝置還包括自動(dòng)進(jìn)給裝置，所述自動(dòng)進(jìn)給裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置、第一方向移動(dòng)裝置和第二方向移動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一方向移動(dòng)裝置沿第一方向移動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第二方向移動(dòng)裝置沿第二方向移動(dòng)，其中：所述第一方向和所述第二方向均為與所述探針卡槽盒的所述底板表面平行的水平方向；