[實用新型]一種量子芯片檢測裝置

有效

• 申請號: 201920558779.7
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN209927980U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 李玲
• 申請（專利權）人: 合肥本源量子計算科技有限責任公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：包括探針卡槽盒、探針裝置和檢測裝置；

所述探針卡槽盒包括底板、蓋板和連接器，所述底板上開有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述蓋板可拆卸蓋在所述底板上開有卡槽的表面，所述蓋板上與所述底板上的各所述卡槽相對位置處開有通孔；各所述連接器分別可拆卸安裝在所述蓋板上的各所述通孔內，所述連接器遠離底板的一端設有探針接頭，靠近底板的一端設有一對接觸針，各所述接觸針在所述蓋板蓋合在所述底板上后，分別與放置在所述卡槽內的量子芯片的正極板和負極板接觸并電連；

所述探針裝置包括用于安裝所述探針卡槽盒的探針座、探針和探針移動裝置，所述探針固定在所述探針移動裝置上，并在所述探針移動裝置的帶動下移動至所述探針卡槽盒的上方與所述探針接頭連接；

所述檢測裝置與所述探針電連接。

2.根據權利要求1所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：各所述卡槽為矩形沉槽。

3.根據權利要求2所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均勻設置在所述底板的表面，其中：每一行中兩相鄰所述卡槽間的距離相等，每一列中兩相鄰所述卡槽間的距離相等。

4.根據權利要求3所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：各所述卡槽均相對于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向傾斜設置。

5.根據權利要求1所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：

所述探針裝置還包括自動進給裝置，所述自動進給裝置包括驅動裝置、第一方向移動裝置和第二方向移動裝置，所述驅動裝置驅動所述第一方向移動裝置沿第一方向移動，所述驅動裝置驅動所述第二方向移動裝置沿第二方向移動，其中：所述第一方向和所述第二方向均為與所述探針卡槽盒的所述底板表面平行的水平方向；

所述探針卡槽盒通過所述探針座安裝在所述自動進給裝置上，其中：所述第一方向移動裝置帶動所述探針卡槽盒沿第一方向運動，所述第二方向移動裝置帶動所述探針卡槽盒沿第二方向運動，所述第一方向和所述第二方向交叉。

6.根據權利要求5所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述第一方向和所述第二方向垂直。

7.根據權利要求1所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述檢測裝置為用于檢測量子芯片電容的電容檢測裝置或用于檢測量子芯片電阻的電阻檢測裝置。

8.根據權利要求1所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述量子芯片檢測裝置還包括顯示裝置，所述顯示裝置與所述檢測裝置連接。

9.根據權利要求1所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述底板的內部設有中空的腔體，所述底板遠離所述卡槽的表面開有第一氣孔，所述底板上各所述卡槽的底部開有第二氣孔，所述第一氣孔和所述第二氣孔均與所述腔體連通；

所述量子芯片檢測裝置還包括吸風裝置，所述吸風裝置包括吸風管，所述吸風管的進風口與所述第一氣孔在所述探針卡槽盒的外部連通。

10.根據權利要求9所述的一種量子芯片檢測裝置，其特征在于：所述吸風裝置還包括真空泵和電磁閥，所述真空泵與所述吸風管的出風口連接，所述電磁閥安裝在所述吸風管上。