[實用新型]一種環(huán)形靶材循環(huán)冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920553924.2
• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN209816255U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周磊;竇沛靜
• 申請（專利權(quán)）人: 四川艾龐機械科技有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 51230 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 白小明

本實用新型涉及PVD真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種環(huán)形靶材循環(huán)冷卻裝置，包括冷卻套，冷卻套一端設(shè)置有靶材座，冷卻套上設(shè)置有進液口，靶材座設(shè)置為凸臺結(jié)構(gòu)，冷卻套內(nèi)沿其軸向設(shè)置有與進液口連通的冷卻管，靶材座內(nèi)設(shè)置有與冷卻管密封連通的冷卻腔，冷卻腔呈環(huán)形設(shè)置并貼近靶材座凸出部的外圓周面，冷卻套內(nèi)沿其軸向還設(shè)置有回流芯軸，回流芯軸呈空心設(shè)置，回流芯軸貼近靶材座的一端設(shè)置有回流管，回流管與冷卻腔連通。本實用新型可實現(xiàn)對環(huán)形靶材的快速且均勻冷卻的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及PVD真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種環(huán)形靶材循環(huán)冷卻裝置。

背景技術(shù)

PVD即物理氣相沉積：指利用物理過程實現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移，將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能(強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸發(fā)、濺射、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍)。

靶材在使用時，腔體均為真空高溫腔室，機臺內(nèi)需要冷卻結(jié)構(gòu)，保證設(shè)備在使用過程達(dá)到冷卻效果，并保證絕緣冷卻，不能再腔室內(nèi)產(chǎn)生導(dǎo)通現(xiàn)象。客戶端馬達(dá)帶著陰極驅(qū)動帶著旋轉(zhuǎn)靶材，靶材在腔體內(nèi)旋轉(zhuǎn)，現(xiàn)有的冷卻方式是將靶材放在靶材座上，通過冷卻靶材座間接冷卻靶材，而針對環(huán)形靶材做冷卻處理時，由于環(huán)形靶材與靶材座的接觸面積較小，導(dǎo)致冷卻不充分。

實用新型內(nèi)容

基于以上問題，本實用新型提供了一種環(huán)形靶材循環(huán)冷卻裝置。本實用新型可實現(xiàn)對環(huán)形靶材的快速且均勻冷卻的目的，通過將靶材座設(shè)置為凸臺，并在冷卻套內(nèi)設(shè)置冷卻管和回流芯軸，靶材座內(nèi)設(shè)置冷卻腔，解決了現(xiàn)有環(huán)形靶材冷卻不均勻，冷卻效果不好的問題。

為解決以上技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種環(huán)形靶材循環(huán)冷卻裝置，包括冷卻套，所述冷卻套一端設(shè)置有靶材座，冷卻套上設(shè)置有進液口，所述靶材座設(shè)置為凸臺結(jié)構(gòu)，所述冷卻套內(nèi)沿其軸向設(shè)置有與進液口連通的冷卻管，所述靶材座內(nèi)設(shè)置有與冷卻管密封連通的冷卻腔，所述冷卻腔呈環(huán)形設(shè)置并貼近靶材座凸出部的外圓周面，所述冷卻套內(nèi)沿其軸向還設(shè)置有回流芯軸，所述回流芯軸呈空心設(shè)置，回流芯軸貼近靶材座的一端設(shè)置有回流管，所述回流管與冷卻腔連通。

在本實用新型中，在使用環(huán)形靶材時可將靶材套設(shè)在靶材座的凸出部，然后通過冷卻套上的進液口注入冷卻液，冷卻液流經(jīng)冷卻管進入靶材座內(nèi)的冷卻腔內(nèi)，由于冷卻腔呈環(huán)形設(shè)置并貼近靶材座凸出部的外圓周面，使得冷卻液能更好的與靶材座進行熱交換，換熱后的冷卻液經(jīng)過回流管流入回流芯軸內(nèi)，然后通過回流芯軸開口的一端流入收集機構(gòu)，如此循環(huán)往復(fù)對靶材座上的環(huán)形靶材進行有效且均已的冷卻。本實用新型可實現(xiàn)對環(huán)形靶材的快速且均勻冷卻的目的，通過將靶材座設(shè)置為凸臺，并在冷卻套內(nèi)設(shè)置冷卻管和回流芯軸，靶材座內(nèi)設(shè)置冷卻腔，解決了現(xiàn)有環(huán)形靶材冷卻不均勻，冷卻效果不好的問題。

作為一種優(yōu)選的方式，冷卻套貼近靶材座的一端設(shè)置有法蘭盤，所述冷卻套通過法蘭盤與靶材座固定連接，所述法蘭盤與靶材座之間設(shè)置有密封圈。

作為一種優(yōu)選的方式，冷卻管設(shè)置為兩個并位于同一水平面，所述回流管位于回流芯軸上端，且所述回流芯軸延伸入靶材座的一端封口設(shè)置。

作為一種優(yōu)選的方式，進液口位于冷卻套上端并沿其徑向設(shè)置，所述進液口延伸入冷卻套的一端設(shè)置有呈半圓形的引流管并連通，所述引流管的兩端分別與兩個冷卻管連通。

作為一種優(yōu)選的方式，冷卻管與冷卻腔采用卡接，所述冷卻管卡入冷卻腔的一端套設(shè)有橡膠圈，所述冷卻管通過橡膠圈與冷卻腔密封卡接。

作為一種優(yōu)選的方式，回流芯軸上還套設(shè)有隔熱套，回流芯軸遠(yuǎn)離靶材座的一端套設(shè)有螺母，所述冷卻套遠(yuǎn)離靶材座的一端設(shè)置有封蓋。

作為一種優(yōu)選的方式，靶材座、法蘭盤、回流芯軸和冷卻套均采用工程塑料制成。