[實用新型]一種環形靶材循環冷卻裝置

有效

• 申請號: 201920553924.2
• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN209816255U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 周磊;竇沛靜
• 申請（專利權）人: 四川艾龐機械科技有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 51230 成都弘毅天承知識產權代理有限公司
• 代理人: 白小明

1.一種環形靶材循環冷卻裝置，包括冷卻套(1)，所述冷卻套(1)一端設置有靶材座(4)，冷卻套(1)上設置有進液口(11)，其特征在于：所述靶材座(4)設置為凸臺結構，所述冷卻套(1)內沿其軸向設置有與進液口(11)連通的冷卻管(10)，所述靶材座(4)內設置有與冷卻管(10)密封連通的冷卻腔(5)，所述冷卻腔(5)呈環形設置并貼近靶材座(4)凸出部的外圓周面，所述冷卻套(1)內沿其軸向還設置有回流芯軸(9)，所述回流芯軸(9)呈空心設置，回流芯軸(9)貼近靶材座(4)的一端設置有回流管(6)，所述回流管(6)與冷卻腔(5)連通。

2.根據權利要求1所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻套(1)貼近靶材座(4)的一端設置有法蘭盤(3)，所述冷卻套(1)通過法蘭盤(3)與靶材座(4)固定連接，所述法蘭盤(3)與靶材座(4)之間設置有密封圈。

3.根據權利要求2所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻管(10)設置為兩個并位于同一水平面，所述回流管(6)位于回流芯軸(9)上端，且所述回流芯軸(9)延伸入靶材座(4)的一端封口設置。

4.根據權利要求3所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述進液口(11)位于冷卻套(1)上端并沿其徑向設置，所述進液口(11)延伸入冷卻套(1)的一端設置有呈半圓形的引流管(12)并連通，所述引流管(12)的兩端分別與兩個冷卻管(10)連通。

5.根據權利要求1所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻管(10)與冷卻腔(5)采用卡接，所述冷卻管(10)卡入冷卻腔的一端套設有橡膠圈，所述冷卻管(10)通過橡膠圈與冷卻腔(5)密封卡接。

6.根據權利要求5所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述回流芯軸(9)上還套設有隔熱套(2)，回流芯軸(9)遠離靶材座(4)的一端套設有螺母(8)，所述冷卻套(1)遠離靶材座(4)的一端設置有封蓋(7)。

7.根據權利要求4所述的環形靶材循環冷卻裝置，其特征在于：所述靶材座(4)、法蘭盤(3)、回流芯軸(9)和冷卻套(1)均采用工程塑料制成。