[實用新型]一種半導體氣相沉積裝置中防護罩沖水治具

有效

• 申請號: 201920539978.3
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN209829676U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 朱光宇;陳智慧;張正偉;李泓波;賀賢漢
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展(大連)有限公司
• 主分類號: B08B3/00
• 分類號: B08B3/00
• 代理公司: 21235 大連智高專利事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 蓋小靜

本實用新型公開了一種半導體氣相沉積裝置中防護罩沖水治具，包括:水管、上端蓋、底座和支腿；在上端蓋外周設有一圈與待沖洗部品相對應的螺絲孔，提拉把手位于上端蓋兩側的上部，在上端蓋中心位置設有通孔，所述水管的一端通過快插接頭與通孔連接；所述底座上分布有4個臺階孔，支腿的頂端位于相應的臺階孔中；在底座的兩端設有缺口凹槽結構；待沖洗部品位于上端蓋與底座之間；本申請治具代替了人工沖洗，沖洗效果更加均勻，提高了工作效率。

技術領域

本實用新型涉及一種沖水治具，具體說是一種半導體鎢化氮氣相沉積裝置中防護罩沖水治具。

背景技術

目前在對半導體鎢化氮氣相沉積裝置防護罩洗凈再生過程中，有一步工序是需要進行噴砂處理，將部品表面附著的殘留物去除，去除后經過水洗直接流進包裝室；在包裝室進行檢查時如果發現部品上有一部分孔是不通的，則需要拿出來，對部品再次沖洗，直至部品上的孔全部通開；現有技術中采用的方法是操作人員把部品放在工作臺上，拿著水管對部品沖洗，沖洗時間大概需要半個小時左右；這樣做的弊端是沖洗效果不好容易返工，進而增加工時，浪費勞動力，而且還可能劃傷部品。

實用新型內容

針對部品沖洗效果不好容易返工的問題，本申請提供一種半導體氣相沉積裝置中防護罩沖水治具，此治具代替了人工沖洗，沖洗效果更加均勻，提高了工作效率。

為實現上述目的，本申請的技術方案為：一種半導體氣相沉積裝置中防護罩沖水治具，包括:水管、上端蓋、底座和支腿；在上端蓋外周設有一圈與待沖洗部品相對應的螺絲孔，提拉把手位于上端蓋兩側的上部，在上端蓋中心位置設有通孔，所述水管的一端通過快插接頭與通孔連接；所述底座上分布有4個臺階孔，支腿的頂端位于相應的臺階孔中；在底座的兩端設有缺口凹槽結構；待沖洗部品位于上端蓋與底座之間。

進一步的，在水管上設有三通閥，其中一個端口通過氣閥連接氣泵，另一個端口通過水閥連接自來水管道。

進一步的，所述支腿通過不銹鋼螺絲固定在臺階孔中。

進一步的，所述上端蓋和底座材質為特氟龍。

進一步的，待沖洗部品通過螺栓與上端蓋固定連接。

更進一步的，所述底座為中空圓環形結構。

本實用新型由于采用以上技術方案，能夠取得如下的技術效果：本申請治具代替了人工沖洗，沖洗效果更加均勻，提高了工作效率。沖洗部品時不僅有水的重力沖洗，同時氣閥又增加了水的作用力，使沖洗更加徹底；上端蓋和底座材質采用特氟龍，避免部品被劃傷；底座兩端的缺口凹槽結構，方便拿放部品。采用不銹鋼螺絲，避免生銹。

附圖說明

圖1為上端蓋結構示意圖；

圖2為底座和支腿裝配圖；

圖3為底座和支腿結構示意圖；

圖4為本申請治具結構示意圖；

圖中序號說明：1、提拉把手，2、通孔，3、螺絲孔，4、缺口凹槽結構，5、臺階孔，6、底座，7、支腿，8、水管，9、上端蓋，10、待沖洗部品。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細的描述：以此為例對本申請做進一步的描述說明。

本申請中待沖洗部品為防護罩，防護罩在噴砂處理過程中，細沙很容堵住防護罩上面的通孔，因此本實施例提供一種半導體氣相沉積裝置中防護罩沖水治具，如圖1-4所示，包括:水管、上端蓋、底座和支腿；在上端蓋外周設有一圈與待沖洗部品相對應的螺絲孔，提拉把手位于上端蓋兩側的上部，在上端蓋中心位置設有通孔，所述水管的一端通過快插接頭與通孔連接；所述底座上分布有4個臺階孔，支腿的頂端位于相應的臺階孔中；在底座的兩端設有缺口凹槽結構；待沖洗部品位于上端蓋與底座之間。