[實用新型]一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920539978.3 | 申請日： | 2019-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN209829676U | 公開（公告）日： | 2019-12-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱光宇;陳智慧;張正偉;李泓波;賀賢漢 | 申請（專利權(quán)）人： | 富樂德科技發(fā)展(大連)有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/00 | 分類號： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 21235 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人： | 蓋小靜 |
| 地址： | 116600 遼寧省大連市保稅區(qū)*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 上端蓋 底座 沖洗 臺階孔 通孔 支腿 治具 水管 防護(hù)罩 氣相沉積裝置 本實用新型 工作效率 快插接頭 缺口凹槽 螺絲孔 沖水 提拉 外周 半導(dǎo)體 把手 品位 申請 | ||
1.一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，包括:水管、上端蓋、底座和支腿；在上端蓋外周設(shè)有一圈與待沖洗部品相對應(yīng)的螺絲孔，提拉把手位于上端蓋兩側(cè)的上部，在上端蓋中心位置設(shè)有通孔，所述水管的一端通過快插接頭與通孔連接；所述底座上分布有4個臺階孔，支腿的頂端位于相應(yīng)的臺階孔中；在底座的兩端設(shè)有缺口凹槽結(jié)構(gòu)；待沖洗部品位于上端蓋與底座之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，在水管上設(shè)有三通閥，其中一個端口通過氣閥連接氣泵，另一個端口通過水閥連接自來水管道。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，所述支腿通過不銹鋼螺絲固定在臺階孔中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，所述上端蓋和底座材質(zhì)為特氟龍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，待沖洗部品通過螺栓與上端蓋固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣相沉積裝置中防護(hù)罩沖水治具，其特征在于，所述底座為中空圓環(huán)形結(jié)構(gòu)。
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