[實用新型]一種用于碳化硅爐爐腔壓力控制的控壓裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920537661.6 | 申請日： | 2019-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN210089430U | 公開（公告）日： | 2020-02-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡建榮;高宇;倪軍夫;董熔成;石明智;陳吉;傅林堅;曹建偉;李歡 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江晶盛機電股份有限公司 |
| 主分類號： | F27D19/00 | 分類號： | F27D19/00;F27D7/06 |
| 代理公司： | 杭州中成專利事務所有限公司 33212 | 代理人： | 周世駿 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 碳化硅 爐爐腔 壓力 控制 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于碳化硅爐爐腔壓力控制的控壓裝置，包括碳化硅爐腔體，碳化硅爐腔體設有腔體進氣口與腔體出氣口；腔體出氣口與主真空管路一端相連；其特征在于：
主真空管路另一端與真空泵相連；所述主真空管路上設有真空閥與旁路支路；
所述旁路支路為若干并聯(lián)的控壓支路，各個控壓支路上均設有真空閥；所述控壓支路直徑小于主真空管路，且各個控壓支路的直徑各不相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅爐爐腔壓力控制的控壓裝置，其特征在于：所述控壓支路有三個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于碳化硅爐爐腔壓力控制的控壓裝置，其特征在于：每個控壓支路上設有一個真空閥。
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