[實(shí)用新型]三角支撐測(cè)厚儀有效
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920537355.2 | 申請(qǐng)日: | 2019-04-19 |
公開(公告)號(hào): | CN209588921U | 公開(公告)日: | 2019-11-05 |
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鄭東;孫士龍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司 |
主分類號(hào): | G01B5/06 | 分類號(hào): | G01B5/06;G01B5/28 |
代理公司: | 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 37212 | 代理人: | 鞏同海 |
地址: | 266114 山東省*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 支撐座 三角支撐 測(cè)厚儀 頂端處 晶片 本實(shí)用新型 固定部 平坦度 伸縮部 支撐柱 滑槽 測(cè)量 長(zhǎng)度方向延伸 大尺寸晶片 測(cè)量裝置 厚度測(cè)量 滑動(dòng)連接 計(jì)量測(cè)量 螺紋連接 伸縮機(jī)構(gòu) 中心延伸 測(cè)量點(diǎn) 可測(cè)量 可調(diào)節(jié) 外部 校零 貫穿 | ||
1.一種三角支撐測(cè)厚儀,其特征在于,包括具有四個(gè)頂端的類三叉戟狀的支撐座(8),位于外部的三個(gè)頂端處設(shè)置有貫穿于支撐座(8)的支撐柱(7),支撐柱(7)與支撐座(8)螺紋連接,其余一個(gè)頂端處設(shè)置有測(cè)量裝置;
測(cè)量裝置包括測(cè)量桿(5),測(cè)量桿(5)貫穿于支撐座(8),通過(guò)支撐座(8)其余一個(gè)頂端處前側(cè)設(shè)置的螺栓與支撐座(8)固定連接,測(cè)量桿(5)頂部安裝有千分表(6),底部安裝有可拆卸的測(cè)量探頭(1);
支撐座(8)設(shè)置有自外部的三個(gè)頂端處向支撐座(8)的中心延伸的伸縮機(jī)構(gòu)(9),包括第一伸縮機(jī)構(gòu)、第二伸縮機(jī)構(gòu)和第三伸縮機(jī)構(gòu),均包括固定部和伸縮部,各固定部均具有沿其長(zhǎng)度方向延伸的滑槽,各伸縮部分別與對(duì)應(yīng)的滑槽滑動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三角支撐測(cè)厚儀,其特征在于,所述測(cè)量探頭(1)包括柱體(11)和球珠(30);柱體(11)的頂部為柱體頂端邊緣部(12),柱體(11)內(nèi)部貫通形成柱體內(nèi)腔(20),柱體內(nèi)腔(20)包括螺桿腔(22),螺桿腔(22)內(nèi)設(shè)置有螺桿(40),與螺桿腔(22)的內(nèi)壁螺紋連接,螺桿(40)與測(cè)量桿(5)螺紋連接;球珠(30)設(shè)置于柱體內(nèi)腔(20)的內(nèi)部,球珠(30)底部與螺桿(40)接觸,頂部從柱體頂端邊緣部(12)向外突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三角支撐測(cè)厚儀,其特征在于,所述柱體內(nèi)腔(20)還包括球珠抱持腔(21);柱體頂端邊緣部(12)限定球珠抱持腔(21)的頂端為直徑小于球珠(30)直徑的圓形開口;球珠(30)設(shè)置于球珠抱持腔(21)內(nèi),球珠(30)底部與螺桿(40)接觸,頂部從柱體頂端邊緣部(12)向外突出。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三角支撐測(cè)厚儀,其特征在于,所述螺桿(40)的頂面為配合球珠(30)的球凹面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三角支撐測(cè)厚儀,其特征在于,支撐座(8)設(shè)置有自其余一個(gè)頂端處向支撐座(8)的中心延伸的伸縮機(jī)構(gòu)(9),為第四伸縮機(jī)構(gòu),包括固定部和伸縮部,固定部具有沿其長(zhǎng)度方向延伸的滑槽,伸縮部與滑槽滑動(dòng)連接。
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