[實用新型]一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴散設備

有效

• 申請號: 201920529410.3
• 申請日: 2019-04-18
• 公開（公告）號: CN209561444U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 趙慶國;姚春梅;陳偉林;江泓;張炎;陸波
• 申請（專利權）人: 浙江貝盛光伏股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 浙江千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 裴金華

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，尤其涉及一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴散設備。包括擴散爐、源氣罐、真空泵和尾氣處理裝置，擴散爐包括頂部設置爐門的立式爐體和設置于立式爐體的加熱器、石英舟以及升降組件；升降組件包括電機和與電機的輸出軸連接、且設有外螺紋的驅動軸，石英舟包括環形的底座以及設置于底座的筒架，底座內環設有內螺紋并與驅動軸螺紋連接、外環通過凸起體滑動設置于立式爐體內壁軸向開設的滑槽；筒架的內環和外環均設有用于承載硅片的承載座；筒架、底座以及承載座均空心、并相互連通，底座設有可供源氣罐的輸氣管插入的進氣口，承載座底面設有出氣孔。該設備具有低壓、均勻、高效的擴散效果。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，尤其涉及一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴散設備。

背景技術

在現階段能源問題日益嚴峻，傳統能源儲量下降和帶來的環境問題越來越制約經濟的發展，從而導致新能源產業迅猛發展。在這樣的大背景下光伏產業作為新能源產業的中堅力量，快速在我國遍地開花。但是，長期以來光伏產業的尖端技術和工藝大部分被國外企業所壟斷，況且光伏行業又面臨越來越激烈的競爭，這就要求我們國內企業必須搞自主研發，提升國內光伏企業的競爭力。

在各種太陽能電池中，硅太陽能電池因其可靠性高、壽命長、能承受各種環境變化等優點成為太陽能電池的主要品種。太陽電池產業化所面臨的主要問題之一是如何在保證電池高轉換效率前提下降低生產成本。薄層多晶硅電池片既能增大電池有效受光面積且不至于顯著增大電阻損失影響填充因子，又能降低單片電池銀漿耗量，從而使得轉換效率提升和生產成本降低，提升企業的市場競爭力。通過薄層多晶硅電池片的實施，可推進我國光伏技術的發展和進步，提高光電轉換效率，降低太陽電池的生產成本，解決因日益嚴重的能源匱乏而制約我國經濟發展的矛盾。

而真空擴散工藝能夠通過低壓環境使分子自由程增長，增強穿透力，從而提升摻雜均勻性，減少紊流，提高氣氛均勻性，快速排空，減少表面復合、降低摻雜源耗，從而制備得到薄層多晶硅電池片，因此需要一種能夠進行低壓擴散的設備。

實用新型內容

本實用新型要解決上述問題，提供一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴散設備。

本實用新型解決問題的技術方案是，提供一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴散設備，包括擴散爐、與擴散爐連接的源氣罐、真空泵以及尾氣處理裝置，所述擴散爐包括頂部設置爐門的立式爐體和設置于立式爐體的加熱器、石英舟以及用于運輸石英舟的升降組件；所述升降組件包括電機和設置于立式爐體中心、與所述電機的輸出軸連接、且設有外螺紋的驅動軸，所述石英舟包括環形的底座以及設置于底座的筒架，所述底座內環設有內螺紋并與所述驅動軸螺紋連接、外環通過凸起體滑動設置于所述立式爐體內壁軸向開設的滑槽；所述筒架的內環和外環均設有用于承載硅片的承載座；所述筒架、底座以及承載座均空心、并相互連通，所述底座設有可供所述源氣罐的輸氣管插入的進氣口，所述承載座底面設有出氣孔。

優選地，所述加熱器包括若干加熱塊，所述加熱塊的設置密度由立式爐體的頂部到底部遞減。

優選地，所述筒架的頂部設有與所述底座形狀大小一致的穩固座，所述穩固座的頂部設有把手。

優選地，所述穩固座內部空心并與所述筒架連通，所述穩固座靠近所述筒架的一面設有若干循環氣孔。

優選地，所述立式爐體的側殼和底殼均包括外殼體和內殼體，且外殼體和內殼體之間形成冷卻水腔，所述冷卻水腔的上部設有出水口、下部設有進水口。

優選地，所述驅動軸內部空心，所述驅動軸位于冷卻水腔的部分設有若干輸水孔。

優選地，所述爐門包括外封閉門和內封閉門，且所述外封閉門和內封閉門之間空心；所述內封閉門設有與所述冷卻水腔連通的輸水口。

優選地，所述立式爐體側殼的頂部凸出形成插入部，所述插入部設有外螺紋，所述輸水口側壁設有與所述外螺紋配合連接的內螺紋。