[實(shí)用新型]一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920529410.3 | 申請(qǐng)日： | 2019-04-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209561444U | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙慶國;姚春梅;陳偉林;江泓;張炎;陸波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江貝盛光伏股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/18 | 分類號(hào)： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33246 | 代理人： | 裴金華 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 底座 筒架 多晶硅電池片 擴(kuò)散設(shè)備 立式爐體 升降組件 制備薄層 承載座 擴(kuò)散爐 驅(qū)動(dòng)軸 石英舟 內(nèi)環(huán) 氣罐 進(jìn)氣口 電機(jī) 太陽能電池技術(shù) 尾氣處理裝置 加熱器 本實(shí)用新型 承載座底面 輸出軸連接 頂部設(shè)置 滑動(dòng)設(shè)置 螺紋連接 體內(nèi)壁軸 出氣孔 立式爐 內(nèi)螺紋 輸氣管 凸起體 外螺紋 真空泵 硅片 供源 滑槽 爐門 連通 承載 擴(kuò)散 | ||
1.一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，包括擴(kuò)散爐（1）、與擴(kuò)散爐（1）連接的源氣罐（2）、真空泵（3）以及尾氣處理裝置（4），其特征在于：所述擴(kuò)散爐（1）包括頂部設(shè)置爐門（11）的立式爐體（10）和設(shè)置于立式爐體（10）的加熱器（12）、石英舟（13）以及用于運(yùn)輸石英舟（13）的升降組件；所述升降組件包括電機(jī)（21）和設(shè)置于立式爐體（10）中心、與所述電機(jī)（21）的輸出軸連接、且設(shè)有外螺紋的驅(qū)動(dòng)軸（22），所述石英舟（13）包括環(huán)形的底座（31）以及設(shè)置于底座（31）的筒架（32），所述底座（31）內(nèi)環(huán)設(shè)有內(nèi)螺紋并與所述驅(qū)動(dòng)軸（22）螺紋連接、外環(huán)通過凸起體滑動(dòng)設(shè)置于所述立式爐體（10）內(nèi)壁軸向開設(shè)的滑槽；所述筒架（32）的內(nèi)環(huán)和外環(huán)均設(shè)有用于承載硅片的承載座（33）；所述筒架（32）、底座（31）以及承載座（33）均空心、并相互連通，所述底座（31）設(shè)有可供所述源氣罐（2）的輸氣管插入的進(jìn)氣口，所述承載座（33）底面設(shè)有出氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述加熱器（12）包括若干加熱塊，所述加熱塊的設(shè)置密度由立式爐體（10）的頂部到底部遞減。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述筒架（32）的頂部設(shè)有與所述底座（31）形狀大小一致的穩(wěn)固座（34），所述穩(wěn)固座（34）的頂部設(shè)有把手。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述穩(wěn)固座（34）內(nèi)部空心并與所述筒架（32）連通，所述穩(wěn)固座（34）靠近所述筒架（32）的一面設(shè)有若干循環(huán)氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述立式爐體（10）的側(cè)殼和底殼均包括外殼體和內(nèi)殼體，且外殼體和內(nèi)殼體之間形成冷卻水腔（14），所述冷卻水腔（14）的上部設(shè)有出水口、下部設(shè)有進(jìn)水口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)軸（22）內(nèi)部空心，所述驅(qū)動(dòng)軸（22）位于冷卻水腔（14）的部分設(shè)有若干輸水孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述爐門（11）包括外封閉門和內(nèi)封閉門，且所述外封閉門和內(nèi)封閉門之間空心；所述內(nèi)封閉門設(shè)有與所述冷卻水腔（14）連通的輸水口。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述立式爐體（10）側(cè)殼的頂部凸出形成插入部（10a），所述插入部（10a）設(shè)有外螺紋，所述輸水口側(cè)壁設(shè)有與所述外螺紋配合連接的內(nèi)螺紋。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述插入部（10a）截面為圓臺(tái)形。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于制備薄層多晶硅電池片的低壓擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于：所述輸氣管用于插入所述底座（31）進(jìn)氣口的端部為錐形并設(shè)有外螺紋，所述進(jìn)氣口側(cè)壁設(shè)有與所述外螺紋配合的內(nèi)螺紋。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
