[實用新型]一種光刻用真空基片夾具有效
| 申請號： | 201920525407.4 | 申請日： | 2019-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN209928209U | 公開（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發明（設計）人： | 閆青芝;曲迪;陳墨;白國人;靳春艷 | 申請（專利權）人： | 天津華慧芯科技集團有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和專利商標代理有限公司 | 代理人： | 許愛文 |
| 地址： | 300467 天津市濱海新區生態城*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 載物臺 真空吸附結構 真空吸盤 真空孔 真空管 基片夾具 夾具 半導體制備 本實用新型 載物臺平面 根部中心 基片位置 緊密貼合 一機多用 配套的 相接處 真空槽 總開關 光刻 通孔 吸附 密封 投影 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻用真空基片夾具，其特征在于：包括一個與基片貼合的真空載物臺；所述載物臺內設有N組真空吸附結構，N為自然數且N≧1；真空吸附結構在載物臺平面上的投影面積略小于待吸附基片的面積；
每組所述真空吸附結構包括沿真空載物臺厚度方向設置的M個真空孔，M為自然數且M≧1；所述真空孔為通孔；相鄰的真空孔之間通過設在真空載物臺內部的真空槽相連通；
所述載物臺底部設有與真空吸附結構配套的N個真空吸盤；真空吸附結構的底部被對應的真空吸盤覆蓋；真空吸盤與載物臺相接處密封；
每個所述真空吸盤的根部中心設有一根與真空吸附結構連通的真空管，N個真空管與設在真空管末端的一個共同的真空總開關連接。
2.如權利要求1所述的光刻用真空基片夾具，其特征在于：每個所述真空管上設有一個控制該真空管工作狀態的真空分開關。
3.如權利要求1所述的光刻用真空基片夾具，其特征在于：N組真空吸附結構在載物臺上的投影面積大小不等。
4.如權利要求1所述的光刻用真空基片夾具，其特征在于：M＝3。
5.如權利要求4所述的光刻用真空基片夾具，其特征在于：3個所述真空孔呈等邊三角形排列，待吸附基片的中心與該等邊三角形的中心重合。
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