[實用新型]剝膜機臺有效
| 申請號: | 201920525168.2 | 申請日: | 2019-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN210073807U | 公開(公告)日: | 2020-02-14 |
| 發明(設計)人: | 洪志宏;嚴皓 | 申請(專利權)人: | 陽程科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/78 | 分類號: | H01L21/78;H01L21/67 |
| 代理公司: | 11139 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 | 代理人: | 孫皓晨;李林 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 薄膜 剖開裝置 機臺 薄膜剝離 承載基板 噴液裝置 離型力 剝膜 噴灑 本實用新型 軟性顯示器 薄膜表面 噴液器 平整性 剖開 剖片 制程 濕潤 合格率 自動化 剝離 施加 制造 | ||
1.一種剝膜機臺,其特征在于,包括基座、掀離裝置、剖開裝置及噴液裝置,其中:
該基座上裝設有該掀離裝置;
該掀離裝置設有使預設軟性顯示器的薄膜與預設承載基板間掀離出空隙的掀離器;
該剖開裝置裝設于該基座上,且該剖開裝置設有供伸入于該空隙內部而將預設薄膜從預設承載基板上剖離的剖片;
該噴液裝置裝設于該基座上,且該噴液裝置設有供伸入于該空隙內部并噴灑液體的噴液器。
2.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該基座設有供該掀離裝置裝設的至少一個定位座。
3.如權利要求2所述的剝膜機臺,其特征在于:該基座上相反于該定位座的一側處設有供帶動該剖開裝置及該噴液裝置橫向往復位移的輸送裝置。
4.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該掀離裝置的掀離器為真空吸盤或粘輪。
5.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該剖開裝置的剖片末端表面設有導斜面。
6.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該噴液裝置的噴液器一側設有細長管狀且供伸入于該空隙內部噴灑液體的噴液頭。
7.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該噴液裝置的噴液器所噴灑的液體為純水、蒸餾水或堿性離子水。
8.如權利要求1所述的剝膜機臺,其特征在于:該基座上裝設有供去除預設承載基板表面殘存液體的吸液裝置。
9.如權利要求8所述的剝膜機臺,其特征在于:該吸液裝置具有裝設于該基座上的驅動裝置,并在該驅動裝置上裝設有能夠作縱向往復位移且具吸液功能的吸液器,以及可供該驅動裝置帶動而罩合或分離于該吸液器外部且具有排液功能的套體。
10.如權利要求9所述的剝膜機臺,其特征在于:該吸液器具有作軸向旋轉的吸液輪,且該吸液輪一側設有供帶動該吸液輪軸向旋轉的驅動馬達,再在該吸液輪上罩設有該套體,且該套體一側設有至少一個具有真空排液功能的排液管。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





