[實用新型]噴淋裝置及晶圓處理設備

有效

• 申請號: 201920518511.0
• 申請日: 2019-04-16
• 公開（公告）號: CN209496836U
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 丁洋;劉家樺;葉日銓;張文福
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該實用新型涉及一種噴淋裝置及晶圓處理設備，其中噴淋裝置包括噴嘴，用于噴淋液體；至少兩個噴淋管路，連通至液體源，并連通至噴嘴，用于為噴嘴提供待噴淋的液體；選通閥，設置于噴淋管路和噴嘴之間，分別與噴淋管路的出口以及噴嘴的入口端連通，用于選通一噴淋管路以連通至噴嘴；機械手臂，噴嘴設置于機械手臂一端，用于帶動噴嘴移動，以使噴嘴對準不同位置。上述噴淋裝置及晶圓處理設備在噴淋不同的液體時，可通過選通閥對噴淋管路的選通，將不同噴淋管路連通至同一噴嘴，簡單方便，能夠減小機臺內布置多個噴嘴時所占用的空間體積，提高機臺的產率，也給對噴淋裝置的預防保養帶來了便利，提高了噴嘴的靈活性。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工生產領域，具體涉及一種噴淋裝置及晶圓處理設備。

背景技術

在現在的晶圓生產過程中，經常需要用到噴嘴對晶圓進行噴淋。在一些機臺中，包含不止一根朝向晶圓放置位設置的噴頭，這時，噴頭要占據機臺內部的大部分空間區域，影響機臺的空間應用，并且由于噴頭的數目過多，體積過大，給機臺的預防養護也帶來了難度，這樣，會延長機臺進行預防養護所需要的時間，造成機臺的產率下降。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種噴淋裝置及晶圓處理設備，能夠減小機臺內噴嘴所占用的空間體積，以及能夠提高機臺的產率。

為解決上述技術問題，以下提供了一種噴淋裝置，包括：噴嘴，用于噴淋液體；至少兩個噴淋管路，連通至液體源，并連通至所述噴嘴，用于為所述噴嘴提供待噴淋的液體；選通閥，設置于所述噴淋管路和噴嘴之間，分別與所述噴淋管路的出口以及所述噴嘴的入口端連通，用于選通一噴淋管路以連通至所述噴嘴；機械手臂，所述噴嘴設置于所述機械手臂一端，用于帶動所述噴嘴移動，以使所述噴嘴對準不同位置。

可選的，所述噴淋管路安裝至所述機械手臂，以使得所述噴淋管路能夠跟隨所述機械手臂移動。

可選的，所述噴淋管路的數目為3個。

可選的，所述選通閥為三通空氣閥，所述噴嘴的入口端安裝至所述三通空氣閥內部。

可選的，所述三通空氣閥包括：外殼；旋轉盤，呈圓盤狀，設置于所述外殼內，所述噴嘴的入口端安裝于所述旋轉盤表面，且所述旋轉盤的邊緣設置有缺口；限位柱，設置于所述外殼內，安裝至所述旋轉盤表面，用于所述噴嘴的入口端，使所述噴嘴的入口端朝向發生變化；壓縮空氣管路，出口設置于所述外殼內，并朝向所述缺口設置，用于朝向所述缺口噴出壓縮空氣，以控制所述旋轉盤的旋轉，從而控制所述噴嘴的入口端朝向；固定支架，設置于所述外殼內，用于安裝所述噴嘴的入口端和所述噴淋管路的出口，且所述噴淋管路的出口安裝至所述固定支架時，排布在同一條圓弧上，以適應于所述噴嘴的入口端的朝向變換。

可選的，所述缺口的數目為兩個，相對設置于所述旋轉盤的邊緣，所述壓縮空氣管路的數目為兩個，且每一壓縮空氣管路的出口對準一缺口，用于將壓縮空氣吹向缺口，從而使所述旋轉盤旋轉。

可選的，所述限位柱的數目為兩個，分別安裝至所述旋轉盤的相對兩側，且兩個限位柱所在的直線與兩個缺口所在的直線重合。

可選的，所述噴嘴的入口端設置于兩個限位柱之間。

可選的，所述壓縮空氣管路也安裝至所述機械手臂。

為解決上述技術問題，以下還提供了一種晶圓處理設備，包括噴淋裝置，且所述噴淋裝置包括：噴嘴，朝向待噴淋的晶圓設置，用于朝向晶圓噴淋液體；至少兩個噴淋管路，連通至液體源，并連通至所述噴嘴，用于為所述噴嘴提供待噴淋的液體；選通閥，設置于所述噴淋管路和噴嘴之間，分別與所述噴淋管路的出口以及所述噴嘴的入口端連通，用于選通一噴淋管路以連通至所述噴嘴；機械手臂，所述噴嘴設置于所述機械手臂一端，用于帶動所述噴嘴移動，以使所述噴嘴對準不同位置