[實用新型]噴淋裝置及晶圓處理設備

有效

• 申請號: 201920518511.0
• 申請日: 2019-04-16
• 公開（公告）號: CN209496836U
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 丁洋;劉家樺;葉日銓;張文福
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括：

噴嘴，用于噴淋液體；

至少兩個噴淋管路，連通至液體源，并連通至所述噴嘴，用于為所述噴嘴提供待噴淋的液體；

選通閥，設置于所述噴淋管路和噴嘴之間，分別與所述噴淋管路的出口以及所述噴嘴的入口端連通，用于選通一噴淋管路連通至所述噴嘴；

機械手臂，所述噴嘴設置于所述機械手臂一端，用于帶動所述噴嘴移動，以使所述噴嘴對準不同位置。

2.根據權利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管路安裝至所述機械手臂，以使得所述噴淋管路能夠跟隨所述機械手臂移動。

3.根據權利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管路的數目為3個。

4.根據權利要求3所述的噴淋裝置，其特征在于，所述選通閥為三通空氣閥，所述噴嘴的入口端安裝至所述三通空氣閥內部。

5.根據權利要求4所述的噴淋裝置，其特征在于，所述三通空氣閥包括：

外殼，

旋轉盤，呈圓盤狀，設置于所述外殼內，所述噴嘴的入口端安裝于所述旋轉盤表面，且所述旋轉盤的邊緣設置有缺口；

限位柱，設置于所述外殼內，安裝至所述旋轉盤表面，用于擠壓所述噴嘴的入口端，使所述噴嘴的入口端朝向發生變化；

壓縮空氣管路，出口設置于所述外殼內，并朝向所述缺口設置，用于朝向所述缺口噴出壓縮空氣，以控制所述旋轉盤的旋轉，從而控制所述噴嘴的入口端朝向；

固定支架，設置于所述外殼內，用于安裝所述噴嘴的入口端和所述噴淋管路的出口，且所述噴淋管路的出口安裝至所述固定支架時，排布在同一條圓弧上，以適應于所述噴嘴的入口端的朝向變換。

6.根據權利要求5所述的噴淋裝置，其特征在于，所述缺口的數目為兩個，相對設置于所述旋轉盤的邊緣，所述壓縮空氣管路的數目為兩個，且每一壓縮空氣管路的出口對準一缺口，用于將壓縮空氣吹向缺口，從而使所述旋轉盤旋轉。

7.根據權利要求6所述的噴淋裝置，其特征在于，所述限位柱的數目為兩個，分別安裝至所述旋轉盤的相對兩側，且兩個限位柱所在的直線與兩個缺口所在的直線重合。

8.根據權利要求7所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴嘴的入口端設置于兩個限位柱之間。

9.根據權利要求5所述的噴淋裝置，其特征在于，所述壓縮空氣管路也安裝至所述機械手臂。

10.一種晶圓處理設備，其特征在于，包括噴淋裝置，且所述噴淋裝置包括：

噴嘴，朝向待噴淋的晶圓設置，用于朝向晶圓噴淋液體；

至少兩個噴淋管路，連通至液體源，并連通至所述噴嘴，用于為所述噴嘴提供待噴淋的液體；

選通閥，設置于所述噴淋管路和噴嘴之間，分別與所述噴淋管路的出口以及所述噴嘴的入口端連通，用于選通一噴淋管路以連通至所述噴嘴；

機械手臂，所述噴嘴設置于所述機械手臂一端，用于帶動所述噴嘴移動，以使所述噴嘴對準不同位置。