[實(shí)用新型]一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920516004.3
• 申請(qǐng)日: 2019-04-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209461308U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖倩;王競(jìng)軒;陳濤;劉澤文
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州希美微納系統(tǒng)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01H1/00
• 分類(lèi)號(hào): H01H1/00;H01H3/04
• 代理公司: 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32289
• 代理人: 陳曉瑜

本實(shí)用新型涉及一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，包括有襯底，襯底上分布有微波傳輸線，微波傳輸線兩側(cè)分布有地結(jié)構(gòu)，地結(jié)構(gòu)內(nèi)開(kāi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極收納槽，驅(qū)動(dòng)電極收納槽內(nèi)設(shè)置有兩兩鏡像分布的四個(gè)開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)電極，微波傳輸線上平行架設(shè)有懸臂梁，懸臂梁左右兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有翹板組件，構(gòu)成“T”型金屬膜橋，微波傳輸線與懸臂梁之間有金屬錨點(diǎn)連接，翹板組件的位置與電極收納槽相對(duì)應(yīng)，翹板組件的底部與襯底之間設(shè)置有支點(diǎn)構(gòu)造。由此，采用翹板式結(jié)構(gòu)，具有雙穩(wěn)態(tài)，開(kāi)關(guān)可靠性更高。“ON”轉(zhuǎn)“OFF”態(tài)時(shí)，由于有驅(qū)動(dòng)力和懸臂梁自身回復(fù)力的雙重作用，響應(yīng)時(shí)間更快。在“OFF”態(tài)時(shí)，金屬膜橋與地接觸，使得開(kāi)關(guān)隔離度更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種接觸開(kāi)關(guān)，尤其涉及一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)。

背景技術(shù)

射頻開(kāi)關(guān)作為通信器件的基本結(jié)構(gòu)單元，在通信系統(tǒng)中有著舉足輕重的地位。RFMEMS開(kāi)關(guān)是利用MEMS技術(shù)制作的一種射頻開(kāi)關(guān)，通過(guò)微機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，來(lái)達(dá)到控制信號(hào)的通與斷的目的，且相較傳統(tǒng)射頻半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)具有插損低，隔離度高以及使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。

目前RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)一般為單穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)，即“ON”態(tài)為有驅(qū)動(dòng)電壓的穩(wěn)態(tài)，“OFF”態(tài)為沒(méi)有驅(qū)動(dòng)電壓的非穩(wěn)態(tài)；另外，傳統(tǒng)RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)在 30GHz以上的頻段隔離度普遍較差。有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS 接觸式開(kāi)關(guān)。

本實(shí)用新型的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，包括有襯底，其中：所述襯底上分布有微波傳輸線，所述微波傳輸線兩側(cè)分布有地結(jié)構(gòu)，所述地結(jié)構(gòu)內(nèi)開(kāi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極收納槽，所述驅(qū)動(dòng)電極收納槽內(nèi)設(shè)置有兩兩鏡像分布的四個(gè)開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)電極，所述微波傳輸線上平行架設(shè)有懸臂梁，所述懸臂梁左右兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有翹板組件，構(gòu)成“T”型金屬膜橋，所述微波傳輸線與懸臂梁之間有金屬錨點(diǎn)連接，所述翹板組件的位置與電極收納槽相對(duì)應(yīng)，所述翹板組件的底部與襯底之間設(shè)置有支點(diǎn)構(gòu)造。

進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述四個(gè)開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)電極中，接近微波傳輸線的一對(duì)驅(qū)動(dòng)電極為“ON”態(tài)驅(qū)動(dòng)電極，遠(yuǎn)離微波傳輸線的一對(duì)驅(qū)動(dòng)電極為“OFF”態(tài)驅(qū)動(dòng)電極。

更進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述“OFF”態(tài)驅(qū)動(dòng)電極處設(shè)置有接地觸點(diǎn)。

更進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述開(kāi)關(guān)驅(qū)動(dòng)電極包括有位于底層的金屬基板，所述金屬基板上疊加有介質(zhì)層。

更進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述翹板組件為帶孔翹板，分布有均勻的孔狀結(jié)構(gòu)。

更進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述微波傳輸線為共面波導(dǎo)，或是為微帶線。

更進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述襯底為高阻硅襯底；或是為玻璃襯底(石英襯底)；或是為陶瓷襯底；或是為砷化鎵襯底。

再進(jìn)一步地，上述的一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開(kāi)關(guān)，其中，所述支點(diǎn)構(gòu)造為絕緣錨點(diǎn)。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、采用翹板式結(jié)構(gòu)，具有雙穩(wěn)態(tài)，開(kāi)關(guān)可靠性更高。

2、“ON”轉(zhuǎn)“OFF”態(tài)時(shí)，由于有驅(qū)動(dòng)力和懸臂梁自身回復(fù)力的雙重作用，響應(yīng)時(shí)間更短。

3、在“OFF”態(tài)時(shí)，金屬膜橋與地接觸，使得開(kāi)關(guān)隔離度更高。

4、微波傳輸線正下方?jīng)]有驅(qū)動(dòng)電極，可減少信號(hào)泄漏，降低插入損耗。