[實用新型]一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關有效
| 申請號： | 201920516004.3 | 申請日： | 2019-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN209461308U | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發明（設計）人： | 肖倩;王競軒;陳濤;劉澤文 | 申請（專利權）人： | 蘇州希美微納系統有限公司 |
| 主分類號： | H01H1/00 | 分類號： | H01H1/00;H01H3/04 |
| 代理公司： | 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 32289 | 代理人： | 陳曉瑜 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波傳輸線 懸臂梁 翹板組件 收納槽 襯底 接觸式開關 翹板結構 驅動電極 地結構 金屬膜 電極 本實用新型 開關可靠性 翹板式結構 對稱設置 開關驅動 兩側分布 雙重作用 支點構造 左右兩側 點連接 隔離度 回復力 金屬錨 驅動力 雙穩態 內開 平行 架設 響應 | ||
1.一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，包括有襯底，其特征在于：所述襯底上分布有微波傳輸線，所述微波傳輸線兩側分布有地結構，所述地結構內開設有驅動電極收納槽，所述驅動電極收納槽內設置有兩兩鏡像分布的四個開關驅動電極，所述微波傳輸線上平行架設有懸臂梁，所述懸臂梁左右兩側對稱設置有翹板組件，構成“T”型金屬膜橋，所述微波傳輸線與懸臂梁之間有金屬錨點連接，所述翹板組件的位置與電極收納槽相對應，所述翹板組件的底部與襯底之間設置有支點構造。
2.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述四個開關驅動電極中，接近微波傳輸線的一對驅動電極為“ON”態驅動電極，遠離微波傳輸線的一對驅動電極為“OFF”態驅動電極。
3.根據權利要求2所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述“OFF”態驅動電極處設置有接地觸點。
4.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述開關驅動電極包括有位于底層的金屬基板，所述金屬基板上疊加有介質層。
5.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述翹板組件為帶孔翹板，分布有均勻的孔狀結構。
6.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述微波傳輸線為共面波導，或是為微帶線。
7.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述襯底為高阻硅襯底；或是為玻璃襯底；或是為陶瓷襯底；或是為砷化鎵襯底。
8.根據權利要求1所述的一種翹板結構的RF MEMS接觸式開關，其特征在于：所述支點構造為絕緣錨點。
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