[實用新型]還原尾氣的無定形硅處理系統

有效

• 申請號: 201920500844.0
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN211056728U
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發明（設計）人: 羅軒;袁中華;汪云清;汪軍
• 申請（專利權）人: 四川永祥多晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

本實用新型公開一種還原尾氣的無定形硅處理系統，包括依次連接的噴淋洗滌裝置、過濾裝置、換熱組件和冷凝裝置；所述噴淋洗滌裝置用于洗滌還原尾氣，得到第一固液混合物；所述過濾裝置用于分離所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；換熱組件用于加熱第二固液混合物，分離得到氣相和固相；所述冷凝裝置用于冷凝所述氣相，得到液相；本申請提供的還原尾氣的無定形硅處理系統，可以有效分離還原尾氣，得到純凈的無定形硅粉和氯硅烷，具有回收利用率高，排放少，能耗小的優點。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產制備領域，具體涉及一種還原尾氣的無定形硅處理系統。

背景技術

多晶硅是太陽能光伏行業的基礎材料。目前，多晶硅主要采用改良西門子法(即三氯氫硅還原法)生產，指的是利用氣相沉積法在還原爐中通過H₂來還原SiHCl₃從而制備多晶硅，具體反應方程式為：

3SiHCl₃+H₂→2Si+5HCl+SiCl₄

在實際生產中，還原過程十分復雜，還原尾氣主要包括H₂、HCl、氣相氯硅烷和無定形硅粉等，其中氣相氯硅烷包括SiHCl₃、SiCl₄氣體和SiH₂Cl₂。為了降低原料浪費，一般將還原尾氣中的各組分加以回收利用，再次應用于還原系統。

現有的還原尾氣回收系統，一般使尾氣中的無定形硅粉使用過濾器簡單過濾后作為廢棄物處置；出現無定形硅粉進入氣相后系統，造成尾氣系統不能長期穩定運行、系統故障率較高，排出硅粉處理難度、費用增加。

實用新型內容

有鑒于此，本申請提供一種還原尾氣的無定形硅處理系統，可以有效分離還原尾氣，得到純凈的無定形硅粉和氯硅烷，具有回收利用率高，排放少，能耗小的優點。

為解決以上技術問題，本實用新型提供的技術方案是一種還原尾氣的無定形硅處理系統，包括依次連接的噴淋洗滌裝置、過濾裝置、換熱組件和冷凝裝置；

所述噴淋洗滌裝置用于通入洗滌液洗滌還原尾氣，得到第一固液混合物；

所述過濾裝置用于分離所述第一固液混合物，得到液相和第二固液混合物；

換熱組件用于加熱第二固液混合物，分離得到氣相和固相；

所述冷凝裝置用于冷凝所述氣相，得到洗滌液。

優選的，所述噴淋洗滌裝置包括：

還原尾氣入口，用于通入所述還原尾氣；

噴淋組件，設置于所述噴淋洗滌裝置內，并連接有液相管道，用于噴淋液相氯硅烷洗滌所述還原尾氣，得到所述第一固液混合物；

第一出口，設置于所述噴淋洗滌裝置的底部，并連接所述過濾裝置，用于送出第一固液混合物。

優選的，所述過濾裝置包括：

固液入口，連接所述噴淋洗滌裝置，用于通入第一固液混合物；

金屬過濾網，設置于固液入口的下方，用于過濾所述第一固液混合物中的固體顆粒物，得到位于上層的液相和位于下層的第二固液混合物；

第一液相出口，設置于過濾裝置的頂部，用于送出過濾裝置內靜置的液相；

混合物出口，設置于所述金屬過濾網的正下方，連接所述換熱組件，用于送出第二固液混合物。

優選的，所述過濾裝置的頂部還連接有反沖洗管路，用于通入中高壓氮氣，去除金屬過濾網上附著的第二固液混合物。