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[實用新型]還原尾氣的無定形硅處理系統有效

專利信息
申請號: 201920500844.0 申請日: 2019-04-12
公開(公告)號: CN211056728U 公開(公告)日: 2020-07-21
發明(設計)人: 羅軒;袁中華;汪云清;汪軍 申請(專利權)人: 四川永祥多晶硅有限公司
主分類號: C01B33/03 分類號: C01B33/03
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 王學強;羅滿
地址: 614800 四川省*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關鍵詞: 還原 尾氣 無定形 處理 系統
【權利要求書】:

1.一種還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,包括依次連接的噴淋洗滌裝置(1)、過濾裝置(3)、換熱組件和冷凝裝置(5);

所述噴淋洗滌裝置(1)用于通入洗滌液洗滌還原尾氣,得到第一固液混合物;

所述過濾裝置(3)用于分離所述第一固液混合物,得到液相和第二固液混合物;

換熱組件用于加熱第二固液混合物,分離得到氣相和固相;

所述冷凝裝置(5)用于冷凝所述氣相,得到洗滌液。

2.根據權利要求1所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述噴淋洗滌裝置(1)包括:

還原尾氣入口(11),用于通入所述還原尾氣;

噴淋組件(12),設置于所述噴淋洗滌裝置(1)內,并連接有液相管道,用于噴淋氯硅烷洗滌液洗滌所述還原尾氣,得到所述第一固液混合物;

第一出口(13),設置于所述噴淋洗滌裝置(1)的底部,并連接所述過濾裝置(3),用于送出第一固液混合物。

3.根據權利要求1所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述過濾裝置(3)包括:

固液入口(31),連接所述噴淋洗滌裝置(1),用于通入第一固液混合物;

金屬過濾網(32),設置于固液入口(31)的下方,用于過濾所述第一固液混合物中的固體顆粒物,得到位于上層的液相和位于下層的第二固液混合物;

第一液相出口(34),設置于過濾裝置(3)的頂部,用于溢流過濾裝置(3)內靜置的液相;

混合物出口(33),設置于所述金屬過濾網(32)的正下方,連接所述換熱組件,用于送出第二固液混合物。

4.根據權利要求3所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述過濾裝置(3)的頂部還連接有反沖洗管路(35),用于通入中高壓氮氣,去除金屬過濾網(32)上附著的第二固液混合物。

5.根據權利要求1所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述換熱組件包括第一換熱器(41),所述第一換熱器(41)內通入有第一熱交換管道(42),所述第一熱交換管道(42)連接有熱源(45);

所述第一換熱器(41)設置有氣相出口(46),所述氣相出口(46)連接所述冷凝裝置(5)。

6.根據權利要求5所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述換熱組件還包括第二換熱器(43),所述第二換熱器(43)內通入有第二熱交換管道(44),所述第二熱交換管道(44)與所述第一熱交換管道(42)并聯連接所述熱源(45);

所述第二換熱器(43)上的氣相出口(46)連接所述冷凝裝置(5)。

7.根據權利要求1所述的還原尾氣的無定形硅處理系統,其特征在于,所述冷凝裝置包括:

氣相入口(51),連接所述換熱組件,用于通入氣相;

冷凝管路(52),設置于所述冷凝裝置(5)內,用于使所述氣相冷凝得到氯硅烷洗滌液;

第二液相出口(53),連接所述噴淋洗滌裝置(1),用于將氯硅烷洗滌液送出至噴淋洗滌裝置(1)。

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