[實用新型]一種用于多晶硅電子生產的恒溫恒濕控制系統

有效

• 申請號: 201920492757.5
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN209857324U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 李新美;李文超;宋欣梅;沈倩妹
• 申請（專利權）人: 南京福加自動化科技有限公司
• 主分類號: F24F11/64
• 分類號: F24F11/64;F24F11/80;F24F11/77;F24F110/10;F24F110/20;F24F140/20
• 代理公司: 32200 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 曹翠珍

本實用新型涉及一種用于多晶硅電子生產的恒溫恒濕控制系統，針對空調（1）內部各個功能模塊，分別采用獨立的數據檢測反饋控制方式，針對各個模塊分別實現精準控制，同時基于空調（1）內部各功能模塊，應用分級控制，進一步提升空調（1）各功能應用的精準性與高效性，用時針對空調（1）送風引入空氣過濾結構，在實現精準溫濕控制送風的同時，能夠保證送風的潔凈度，即實現新風送風操作，實際應用中，由此所構恒溫恒濕系統，能夠針對多晶硅電子生產車間內部環境，保證溫度控制精度達到25℃~30℃（±1℃），濕度控制精度達到75%~85%（±5%），并且使得空調（1）的節能率能夠達到30%以上。

技術領域

本實用新型涉及一種用于多晶硅電子生產的恒溫恒濕控制系統，屬于恒溫恒濕控制技術領域。

背景技術

多晶硅，是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。

在太陽能利用上，單晶硅和多晶硅也發揮著巨大的作用。要使太陽能發電具有較大的市場，被廣大的消費者接受，就必須提高太陽電池的光電轉換效率，降低生產成本。以往的多晶硅生產環境溫濕度控制不精準，多晶硅材料合成有缺陷，影響使用壽命。在多晶硅生產上，溫濕度是影響緊帶寬度和半導體的關鍵因素，也是直接導致多晶硅生產的好壞的決定因素，另外，系統是否節能也是企業盈利的關鍵點。因此，多晶硅電子生產環境對溫濕度顯得尤為重要。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用于多晶硅電子生產的恒溫恒濕控制系統，能夠針對多晶硅電子生產環境實現精準溫濕度控制，保證多晶硅電子的生產效率。

本實用新型為了解決上述技術問題采用以下技術方案：本實用新型設計了一種用于多晶硅電子生產的恒溫恒濕控制系統，通過對空調的控制，實現對多晶硅電子生產車間內部環境的恒溫恒濕控制，包括變頻器和控制器，以及分別與控制器相連接的室內環境溫濕度傳感器、繼電器；

其中，空調內部自回風區至出風區依次設置表冷段、蒸汽加熱段、蒸汽加濕段、送風機；控制器分別對接表冷段、蒸汽加熱段、蒸汽加濕段、送風機，實現制冷控制、制熱控制、加濕控制和送風控制；多晶硅電子生產車間內部設置出風口和回風口；空調和控制器置于多晶硅電子生產車間外部，空調出風區上的出風口經管路對接多晶硅電子生產車間內部的出風口，用于向多晶硅電子生產車間內部送風，空調回風區上的進風口經管路對接多晶硅電子生產車間內部的回風口，用于實現多晶硅電子生產車間內部氣流向空調回風區進行流動；

室內環境溫濕度傳感器置于多晶硅電子生產車間內部，用于檢測獲得多晶硅電子生產車間內部的溫度數據、濕度數據，并上傳至控制器中；控制器、以及繼電器的輸出端分別與變頻器的輸入端相連接，變頻器的輸出端對接空調內部的送風機，即控制器輸出電源模擬信號、結合控制器經繼電器的控制輸出實現對變頻器的控制，進而由變頻器針對空調內部的送風機進行控制。

作為本實用新型的一種優選技術方案：還包括與所述控制器相連接的空調送風溫度傳感器、風量傳感器，空調送風溫度傳感器和風量傳感器分別設置于空調出風區上的出風口位置，用于檢測空調出風區上出風口位置的溫度數據和風量數據，分別上傳至控制器中。

作為本實用新型的一種優選技術方案：還包括預處理盤管、以及與所述控制器相連接的空調預處理溫度傳感器，預處理盤管包括預處理表冷段和預處理加熱段，預處理表冷段和預處理加熱段設置于所述空調內部自回風區至出風區方向、所述表冷段之前的位置，控制器分別對接預處理表冷段和預處理加熱段，實現預處理制冷控制和預處理加熱控制；空調預處理溫度傳感器設置于空調內部、預處理盤管與表冷段之間的位置，用于檢測所設位置的溫度數據，并上傳至控制器中。