[實用新型]一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920492757.5
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN209857324U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李新美;李文超;宋欣梅;沈倩妹
• 申請（專利權(quán)）人: 南京福加自動化科技有限公司
• 主分類號: F24F11/64
• 分類號: F24F11/64;F24F11/80;F24F11/77;F24F110/10;F24F110/20;F24F140/20
• 代理公司: 32200 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 曹翠珍

1.一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)，通過對空調(diào)（1）的控制，實現(xiàn)對多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部環(huán)境的恒溫恒濕控制，其特征在于：包括變頻器和控制器（2），以及分別與控制器（2）相連接的室內(nèi)環(huán)境溫濕度傳感器、繼電器；

其中，空調(diào)（1）內(nèi)部自回風區(qū)至出風區(qū)依次設(shè)置表冷段（3）、蒸汽加熱段（4）、蒸汽加濕段（5）、送風機（6）；控制器（2）分別對接表冷段（3）、蒸汽加熱段（4）、蒸汽加濕段（5）、送風機（6），實現(xiàn)制冷控制、制熱控制、加濕控制和送風控制；多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部設(shè)置出風口和回風口；空調(diào)（1）和控制器（2）置于多晶硅電子生產(chǎn)車間外部，空調(diào)（1）出風區(qū)上的出風口經(jīng)管路對接多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部的出風口，用于向多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部送風，空調(diào)（1）回風區(qū)上的進風口經(jīng)管路對接多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部的回風口，用于實現(xiàn)多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部氣流向空調(diào)（1）回風區(qū)進行流動；

室內(nèi)環(huán)境溫濕度傳感器置于多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部，用于檢測獲得多晶硅電子生產(chǎn)車間內(nèi)部的溫度數(shù)據(jù)、濕度數(shù)據(jù)，并上傳至控制器（2）中；控制器（2）、以及繼電器的輸出端分別與變頻器的輸入端相連接，變頻器的輸出端對接空調(diào)（1）內(nèi)部的送風機（6），即控制器（2）輸出電源模擬信號、結(jié)合控制器（2）經(jīng)繼電器的控制輸出實現(xiàn)對變頻器的控制，進而由變頻器針對空調(diào)（1）內(nèi)部的送風機（6）進行控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括與所述控制器（2）相連接的空調(diào)送風溫度傳感器、風量傳感器，空調(diào)送風溫度傳感器和風量傳感器分別設(shè)置于空調(diào)（1）出風區(qū)上的出風口位置，用于檢測空調(diào)（1）出風區(qū)上出風口位置的溫度數(shù)據(jù)和風量數(shù)據(jù)，分別上傳至控制器（2）中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括預處理盤管、以及與所述控制器（2）相連接的空調(diào)預處理溫度傳感器，預處理盤管包括預處理表冷段（7）和預處理加熱段（8），預處理表冷段（7）和預處理加熱段（8）設(shè)置于所述空調(diào)（1）內(nèi)部自回風區(qū)至出風區(qū)方向、所述表冷段（3）之前的位置，控制器（2）分別對接預處理表冷段（7）和預處理加熱段（8），實現(xiàn)預處理制冷控制和預處理加熱控制；空調(diào)預處理溫度傳感器設(shè)置于空調(diào)（1）內(nèi)部、預處理盤管與表冷段（3）之間的位置，用于檢測所設(shè)位置的溫度數(shù)據(jù)，并上傳至控制器（2）中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括初級過濾器（9）、中級過濾器（10）和終極過濾器（11），其中，初級過濾器（9）設(shè)置于所述空調(diào)（1）內(nèi)部自回風區(qū)至出風區(qū)方向、所述預處理盤管之前的位置；中級過濾器（10）設(shè)置于空調(diào)（1）內(nèi)部、預處理盤管與所述表冷段（3）之間的位置；終極過濾器（11）設(shè)置于空調(diào)（1）內(nèi)部、送風機（6）與空調(diào)（1）出風區(qū)出風口之間的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種用于多晶硅電子生產(chǎn)的恒溫恒濕控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括遠程終端，所述控制器（2）與遠程終端之間通過以太網(wǎng)進行連接，控制器（2）將與其所連各模塊的狀態(tài)發(fā)送至遠程終端上。