[實用新型]一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口

有效

• 申請號: 201920490708.8
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN210481501U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 黃傳威;魏思聰;廖肇龍
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 溫州知遠專利代理事務所(特殊普通合伙) 33262
• 代理人: 湯時達

本實用新型涉及材料工程技術領域，且公開了一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，包括閘板閥，所述閘板閥頂部的一側設有真空密封口，所述真空密封口的頂部設有固定螺絲，所述真空密封口內腔的頂部設有激光入射玻璃窗口。該一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，通過采用可拆卸的激光玻璃密封窗口裝置，能夠在不破壞真空腔體內部的氣體氛圍的條件下，將激光玻璃密封窗口拆卸下來，實現對玻璃窗口的高效清潔，解決了在脈沖激光沉積技術中存在的激光入射玻璃難以清洗的問題，確保了高質量的入射激光能透過玻璃窗口進入腔體。

技術領域

本實用新型涉及材料工程技術領域，具體為一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口。

背景技術

隨著現代微電子行業的發展，人們對小型化高性能集成電子器件的需求日益增加，用于制造這種電子器件的材料也趨于復雜化，因此需要制備高性能的新型薄膜材料來滿足市場需求。當薄膜制備技術達到原子精度時，就能精確的調控薄膜材料的微觀結構從而進一步實現對其性能的精密調控。脈沖激光沉積技術是目前世界范圍內使用最廣的一種先進的新型薄膜制備技術，能實現對薄膜沉積在原子精度上的調控，它是伴隨著激光技術的進步而發展起來的，其主要優點有：更容易獲得與靶材組分相一致的薄膜材料；沉積效率高，實驗周期相對較短；制備的薄膜材料樣品組分均一；對靶材原料的限制較少，可以用于制備多種薄膜材料；工藝參數的可調節性腔，對薄膜質量控制的手段多樣；系統兼容性強，可以搭載多種組合配件。

真空沉積系統作為脈沖激光沉積系統的重要組件之一，其主體是一個封閉的真空腔體，是薄膜材料生長的關鍵裝置，高能準分子激光脈沖從脈沖激光器發射出，經過光學透鏡的聚焦與調節，最后從真空沉積系統的激光入射玻璃窗口進入真空腔體，激光進入真空腔體后轟擊在靶材表面，與靶材表面產生強烈的物理作用，產生大量的濺射粒子，這些濺射粒子中有一部分很容易附著在激光入射的玻璃窗口上，從而在玻璃窗口內側產生污染物，這些污染物的存在會導致玻璃窗口的透光率降低，從而使得激光在穿過玻璃窗口時出現能量降低，光斑的均勻度變差等一系列問題，激光質量的降低會導致薄膜材料制備過程中出現生長不均勻，結晶性差等嚴重的問題，最終會影響到薄膜材料的性能以及后續的應用，同時真空腔體處于一個高度真空密封的狀態，要去清洗玻璃窗口就必須要讓真空腔體破除真空狀態并使其暴露于大氣之中，再拆下玻璃窗口清洗，但這種做法會極大的改變真空腔體的內部氣氛環境，影響薄膜制備時的沉積條件，進而會降低薄膜樣品的重復性，這一難題的出現使得我們不能高效的去清洗沉積在玻璃窗口內側的污染物，導致污染物長期的附著在玻璃窗口上。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對上述背景技術提出的不足，本實用新型提供了一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，解決了上述背景技術提出的問題。

(二)技術方案

本實用新型提供如下技術方案：一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，包括閘板閥，所述閘板閥頂部的一側設有真空密封口，所述真空密封口的頂部設有固定螺絲，所述真空密封口內腔的頂部設有激光入射玻璃窗口，所述閘板閥正面的另一側設有進氣口，且進氣口的正面設有進氣管，所述閘板閥的另一側設有連接口，且連接口的另一側設有閥門制動桿，所述閥門制動桿的另一側設有閥門開關旋轉手柄。

優選的，所述激光入射玻璃窗口的外徑值與真空密封口的內徑值相等，且激光入射玻璃窗口的制作材質透光。

優選的，所述固定螺絲的數量為六個，且六個固定螺絲均勻分布在真空密封口的頂部。

優選的，所述閥門開關旋轉手柄的一側固定安裝有把手，且把手的外表面設有防滑紋。

優選的，所述閘板閥通過真空管道與真空腔體相連。

優選的，所述閘板閥外具有可拆卸的鏡子，且其將閘板閥隔離。

優選的，所述閘板閥一側設有進氣管道。