[實用新型]一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口

有效

• 申請號: 201920490708.8
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN210481501U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 黃傳威;魏思聰;廖肇龍
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 溫州知遠專利代理事務所(特殊普通合伙) 33262
• 代理人: 湯時達

1.一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，包括閘板閥(2)，其特征在于：所述閘板閥(2)頂部的一側設有真空密封口(3)，所述真空密封口(3)的頂部設有固定螺絲(4)，所述真空密封口(3)內腔的頂部設有激光入射玻璃窗口(5)，所述閘板閥(2)正面的另一側設有進氣口(6)，且進氣口(6)的正面設有進氣管(7)，所述閘板閥(2)的另一側設有連接口(8)，且連接口(8)的另一側設有閥門制動桿(9)，所述閥門制動桿(9)的另一側設有閥門開關旋轉手柄(10)。

2.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述激光入射玻璃窗口(5)的外徑值與真空密封口(3)的內徑值相等，且激光入射玻璃窗口(5)的制作材質透光。

3.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述固定螺絲(4)的數量為六個，且六個固定螺絲(4)均勻分布在真空密封口(3)的頂部。

4.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述閥門開關旋轉手柄(10)的一側固定安裝有把手，且把手的外表面設有防滑紋。

5.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述閘板閥(2)通過真空管道與真空腔體(1)相連。

6.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述閘板閥(2)外具有可拆卸的鏡子，且其將閘板閥(2)隔離。

7.根據權利要求1所述的一種用于脈沖激光沉積系統中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述閘板閥(2)一側設有進氣管道。