[實(shí)用新型]一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920488411.8
• 申請(qǐng)日: 2019-04-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210071445U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙杰杰;朱麗鵬;周明暉;于劍飛;于杰杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 趙杰杰
• 主分類號(hào): G01N1/28
• 分類號(hào): G01N1/28
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)，包括圓盤(pán)狀的底座，所述底座的中心處設(shè)有貫穿底座上下底面的中心通孔，所述底座在位于中心通孔的外圍設(shè)有圓柱狀的安裝槽，所述安裝槽內(nèi)嵌設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤(pán)，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的中部設(shè)有夾持通孔，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)在位于夾持通孔的側(cè)壁上設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)托盤(pán)內(nèi)的滑腔，所述滑腔內(nèi)設(shè)有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊的外端部設(shè)有弧形結(jié)構(gòu)的擋塊，所述擋塊的外側(cè)設(shè)有外端面帶有弧形凹槽的夾持片，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的外側(cè)設(shè)有周向分布的齒牙，所述底座內(nèi)設(shè)有與齒牙嚙合的傳動(dòng)小齒輪。本實(shí)用新型能夠?qū)Σ煌笮〉臉悠愤M(jìn)行夾持固定，具有減薄均勻和減薄效果好的特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及離子減薄技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)。

背景技術(shù)

離子減薄技術(shù)是利用高速離子束的沖擊作用將較厚的材料逐漸減薄至所需厚度的一種減薄技術(shù)。而樣品被減薄的厚度及薄區(qū)面積大小是衡量離子減薄儀技術(shù)條件的一個(gè)最重要的指標(biāo)。這兩個(gè)指標(biāo)又決定于被減薄樣品與離子束之間的最小傾角的大小，傾角越小則樣品被減薄的薄區(qū)面積越大。

目前已有的離子減薄儀中的樣品臺(tái)，有幾點(diǎn)支撐式、薄軸承式等等結(jié)構(gòu)，幾點(diǎn)支撐式減薄儀的缺點(diǎn)是對(duì)離子有遮擋，因此樣品將不可能被均勻減薄；而薄軸承式減薄儀雖然解決了雙面減薄時(shí)對(duì)離子束的遮檔問(wèn)題，但由于受到軸承厚度的限制，其樣品與離子束之間的傾角一般最小為5～8度，而且軸承很容易由于樣品減薄時(shí)所產(chǎn)生的微粒的進(jìn)入而受阻停止旋轉(zhuǎn)，因此也易造成樣品減薄不均勻，而且還不便于調(diào)節(jié)來(lái)對(duì)不同大小的樣品進(jìn)行固定。因此我們提供一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺(tái)，包括圓盤(pán)狀的底座，所述底座的中心處設(shè)有貫穿底座上下底面的中心通孔，所述底座在位于中心通孔的外圍設(shè)有圓柱狀的安裝槽，所述安裝槽內(nèi)嵌設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤(pán)，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的中部設(shè)有夾持通孔，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)在位于夾持通孔的側(cè)壁上設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)托盤(pán)內(nèi)的滑腔，所述滑腔內(nèi)設(shè)有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊的外端部設(shè)有弧形結(jié)構(gòu)的擋塊，所述擋塊的外側(cè)設(shè)有外端面帶有弧形凹槽的夾持片，所述滑動(dòng)塊的頂部設(shè)有豎直向上的螺紋柱，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)上設(shè)有與螺紋柱配合的且與滑腔平行的滑槽，所述螺紋柱的頂部伸出滑槽外且安裝有緊固螺母，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的外側(cè)設(shè)有周向分布的齒牙，所述底座內(nèi)設(shè)有與齒牙嚙合的傳動(dòng)小齒輪，所述底座的底部設(shè)有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出軸與傳動(dòng)小齒輪的軸端部連接。

優(yōu)選的，所述安裝槽的底側(cè)且位于中心通孔的外側(cè)設(shè)有環(huán)形導(dǎo)向塊，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的底部設(shè)有與環(huán)形導(dǎo)向塊契合的環(huán)形導(dǎo)向凹槽，所述環(huán)形導(dǎo)向塊的側(cè)壁上嵌設(shè)有多個(gè)滾珠。

優(yōu)選的，所述擋塊的底部設(shè)有向外凸出的邊沿。

優(yōu)選的，所述夾持片和邊沿的表面均設(shè)有緩沖層，所述緩沖層是泡沫層或軟質(zhì)橡膠層。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的外表面設(shè)有與滑槽平行的刻度標(biāo)志。

優(yōu)選的，所述擋塊與夾持片之間設(shè)有多個(gè)壓緊彈簧。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：