[實用新型]一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920488411.8
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN210071445U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設計）人: 趙杰杰;朱麗鵬;周明暉;于劍飛;于杰杰
• 申請（專利權）人: 趙杰杰
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：包括圓盤狀的底座（1），所述底座（1）的中心處設有貫穿底座（1）上下底面的中心通孔（2），所述底座（1）在位于中心通孔（2）的外圍設有圓柱狀的安裝槽（3），所述安裝槽（3）內嵌設有旋轉托盤（4），所述旋轉托盤（4）的中部設有夾持通孔（5），所述旋轉托盤（4）在位于夾持通孔（5）的側壁上設有夾持機構（6），所述夾持機構（6）包括設置在旋轉托盤（4）內的滑腔（7），所述滑腔（7）內設有滑動塊（8），所述滑動塊（8）的外端部設有弧形結構的擋塊（9），所述擋塊（9）的外側設有外端面帶有弧形凹槽的夾持片（10），所述滑動塊（8）的頂部設有豎直向上的螺紋柱（11），所述旋轉托盤（4）上設有與螺紋柱（11）配合的且與滑腔（7）平行的滑槽（12），所述螺紋柱（11）的頂部伸出滑槽（12）外且安裝有緊固螺母（13），所述旋轉托盤（4）的外側設有周向分布的齒牙（14），所述底座（1）內設有與齒牙（14）嚙合的傳動小齒輪（15），所述底座（1）的底部設有伺服電機（23），所述伺服電機（23）的輸出軸與傳動小齒輪（15）的軸端部連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：所述安裝槽（3）的底側且位于中心通孔（2）的外側設有環(huán)形導向塊（16），所述旋轉托盤（4）的底部設有與環(huán)形導向塊（16）契合的環(huán)形導向凹槽（17），所述環(huán)形導向塊（16）的側壁上嵌設有多個滾珠（18）。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：所述擋塊（9）的底部設有向外凸出的邊沿（19）。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：所述夾持片（10）和邊沿（19）的表面均設有緩沖層（20），所述緩沖層（20）是泡沫層或軟質橡膠層。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：所述旋轉托盤（4）的外表面設有與滑槽（12）平行的刻度標志（21）。

6.根據(jù)權利要求4所述的一種小角度雙面離子減薄儀樣品臺，其特征在于：所述擋塊（9）與夾持片（10）之間設有多個壓緊彈簧（22）。