[實用新型]一種高精密可調節電驅動微量泵

有效

• 申請號: 201920488116.2
• 申請日: 2019-04-11
• 公開（公告）號: CN209908727U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 張曉鵬;韓森;游智予;王立遠;楊允澤
• 申請（專利權）人: 張曉鵬
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B49/06;F04B49/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高精密可調節電驅動微量泵，包括微量泵泵體、隔膜、微流體芯片和雙晶硅膜，所述微量泵泵體的右側設有ER流體入口，所述ER流體入口的內部設有第一單向閥，所述第一單向閥的左端連接有微流體通道，且微流體通道的上部設有隔膜，所述隔膜的左側通過微流體通道與第二單向閥連接，所述隔膜的上部設有微流體芯片，所述微流體芯片的上部設有共振線圈，所述微流體芯片的側面設有雙晶硅框架，所述雙晶硅框架的內側設有雙晶硅膜，本實用新型采用隔膜和微流體芯片進行高精度控制，將流體輸送到微流體通道并靈活改變其流速，且微量泵可以產生具有可控尺寸和化學成分的微滴，用于提供精確、可重復和獨立配送的流量。

技術領域

本實用新型涉及微量泵技術領域，具體是一種高精密可調節電驅動微量泵。

背景技術

當今科學技術發展迅速,更多的場合對流體的流動速度,要求進行精確的控制，在醫院及科學實驗等場合使用的微量泵可以對藥物液體的使用量和速度進行精確控制, 電驅動微量泵不只改善了醫療應用中給藥方式,還提高了醫療安全水平,同時電驅動微量泵也可應用于生命科學研究、生物化學試驗和食品安全監控等特殊領域，微量泵作為主要的驅動元件，可以為整個系統的工作提供驅動力，其中微量恒定流量可以作為微量輸送子系統，傳統的電驅動微量泵無法高精度調節流動速率，并且噪音比較大,從而降低了微量泵的性能。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種高精密可調節電驅動微量泵，以解決傳統電驅動微量泵無法高精度調節流動速率，并且噪音比較大,從而降低了微量泵的性能。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高精密可調節電驅動微量泵，包括微量泵泵體、ER流體入口、隔膜、微流體芯片和雙晶硅膜，所述微量泵泵體的右側設有ER流體入口，所述ER流體入口的內部設有第一單向閥，所述第一單向閥的左端連接有微流體通道，且微流體通道的上部設有隔膜，所述隔膜的左側通過微流體通道與第二單向閥連接，且第二單向閥的左端設有ER流體出口，所述隔膜的上部設有微流體芯片，所述微流體芯片的上部設有共振線圈，所述共振線圈的側面設有電極，所述共振線圈的中部設有彈簧，所述微流體芯片的側面設有雙晶硅框架，所述雙晶硅框架的內側設有雙晶硅膜，且雙晶硅膜的內部設有鋁環。

優選的，所述隔膜由下隔膜和上隔膜組成，且下隔膜和上隔膜為圓形隔膜，隔膜的半徑為1 毫米， 厚度為30 微米，隔膜位于微流體通道之間，隔膜在左側電極對上施加適當電壓時 ER 流體從右向左流動的情況，ER 流向左側停止，從而導致壓力積聚在隔膜下方并向上推動，隔膜上的流體體積被壓縮，從而驅動液體流動。

優選的，所述雙晶硅膜（的內部設有壓敏電阻和金屬驅動的上層鋁膜，可以用于檢測膜片的形變情況，另一方面驅動膜片形變大小又決定了微流量泵泵腔的體積變化。

優選的，所述微量泵泵體采用非金屬惰性材料制成，可以適用于輸送高純度液體。

優選的，所述微流體芯片由微傳感器、微閥、微通道和過濾網構成，微流體芯片可以對微量流體進行復雜及精確的操作，而且尺寸微小，具有提高響應速度的特點。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型采用高精度且便于控制的微量泵泵體，可以隔膜和微流體芯片進行高精度控制，將流體輸送到微流體通道并靈活改變其流速，并在毫秒級和高泵壓下快速響應穩定，微量泵可以產生具有可控尺寸和化學成分的微滴，用于提供精確、可重復和獨立配送的流量，通過共振線圈和電極進行電信號控制以協同作用時，這些排斥和吸收動作可以產生所需的泵送動作，可以進行控制通道內ER流體的流動，在微流體裝置內輸送流體并控制其流動速率，具有高靈活性。

附圖說明

圖1為本實用新型剖視結構示意圖。

圖2為本實用新型雙晶硅膜結構示意圖。

圖3為本實用新型的隔膜變形結構示意圖。