[實用新型]一種高精密可調節電驅動微量泵

有效

• 申請號: 201920488116.2
• 申請日: 2019-04-11
• 公開（公告）號: CN209908727U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 張曉鵬;韓森;游智予;王立遠;楊允澤
• 申請（專利權）人: 張曉鵬
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B49/06;F04B49/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精密可調節電驅動微量泵，包括微量泵泵體（1）、ER流體入口（7）、隔膜（8）、微流體芯片（9）和雙晶硅膜（13），其特征在于：所述微量泵泵體（1）的右側設有ER流體入口（7），所述ER流體入口（7）的內部設有第一單向閥（6），所述第一單向閥（6）的左端連接有微流體通道（2），且微流體通道（2）的上部設有隔膜（8），所述隔膜（8）的左側通過微流體通道（2）與第二單向閥（5）連接，且第二單向閥（5）的左端設有ER流體出口（4），所述隔膜（8）的上部設有微流體芯片（9），所述微流體芯片（9）的上部設有共振線圈（11），所述共振線圈（11）的側面設有電極（10），所述共振線圈（11）的中部設有彈簧（12），所述微流體芯片（9）的側面設有雙晶硅框架（3），所述雙晶硅框架（3）的內側設有雙晶硅膜（13），且雙晶硅膜（13）的內部設有鋁環（14）。

2.根據權利要求1所述的一種高精密可調節電驅動微量泵，其特征在于：所述隔膜（8）由下隔膜和上隔膜組成，且下隔膜和上隔膜為圓形隔膜，隔膜（8）的半徑為1 毫米， 厚度為30 微米，隔膜（8）位于微流體通道（2）之間。

3.根據權利要求1所述的一種高精密可調節電驅動微量泵，其特征在于：所述雙晶硅膜（13）的內部設有壓敏電阻和金屬驅動的上層鋁膜。

4.根據權利要求1所述的一種高精密可調節電驅動微量泵，其特征在于：所述微量泵泵體（1）采用非金屬惰性材料制成。

5.根據權利要求1所述的一種高精密可調節電驅動微量泵，其特征在于：所述微流體芯片（9）由微傳感器、微閥、微通道和過濾網構成。