[實用新型]一種自動切換式修正機構有效
| 申請號： | 201920463253.0 | 申請日： | 2019-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN209798082U | 公開（公告）日： | 2019-12-17 |
| 發明（設計）人： | 王福平 | 申請（專利權）人： | 愛發科真空技術(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11275 北京同恒源知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉憲池 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 修正板 修板 支桿 旋轉馬達 真空腔體 修正 本實用新型 平行相對 鍍鍋 轉動 蒸發鍍膜設備 十字型交叉 自動切換式 鍍膜設備 修正機構 蒸發鍍膜 蒸發特性 自動切換 自身軸線 高真空 可轉動 伸出端 穿過 金屬 伸出 | ||
1.一種自動切換式修正機構，安裝在鍍膜設備的真空腔體上，其特征在于，自動切換式修正機構包括：支桿、修正板和旋轉馬達；所述支桿可轉動的設置在所述真空腔體的內部，所述支桿位于公轉鍍鍋與蒸發源之間，所述支桿平行于所述公轉鍍鍋；所述支桿的一端穿過伸出所述真空腔體、為伸出端，所述支桿的另一端可轉動的設置在所述真空腔體上、為固定端；所述修正板有兩個，兩個修正板均固定安裝在所述支桿上，兩個修正板關于所述公轉鍍鍋的軸線對稱；所述修正板包括呈十字型交叉設置的第一修板和第二修板，所述第一修板和所述第二修板均呈柳葉形，所述第一修板上面積較大的一端靠近公轉鍍鍋軸線、面積較小的一端靠近真空腔體內側壁，所述第二修板上面積較大的一端靠近真空腔體內側壁、面積較小的一端靠近公轉鍍鍋軸線；當第一修板與公轉鍍鍋平行相對時，第二修板則垂直于公轉鍍鍋，此時的修正板對應處于第一修正狀態；當第二修板與公轉鍍鍋平行相對時，第一修板則垂直于公轉鍍鍋，此時的修正板對應處于第二修正狀態；所述伸出端與旋轉馬達連接；旋轉馬達每轉動一次，則控制支桿繞自身軸線轉動90度，從而控制修正板由原先的第一修正狀態切換到第二修正狀態、或由原先的第二修正狀態切換到第一修正狀態。
2.根據權利要求1所述的一種自動切換式修正機構，其特征在于：所述伸出端通過磁流體與所述旋轉馬達連接，所述磁流體固定安裝在所述真空腔體的外側壁上，所述磁流體的真空側朝向所述真空腔體。
3.根據權利要求2所述的一種自動切換式修正機構，其特征在于：所述旋轉馬達的輸出軸采用聯軸器與所述磁流體連接，旋轉馬達轉動通過聯軸器、磁流體控制支桿繞自身軸線轉動。
4.根據權利要求1所述的一種自動切換式修正機構，其特征在于：所述支桿的固定端通過支撐座固定設置在所述真空腔體的內側壁上，即所述固定端與所述支撐座為可轉動連接，所述支撐座與所述真空腔體的內側壁為固定連接。
5.根據權利要求1或2或3或4所述的一種自動切換式修正機構，其特征在于：所述旋轉馬達固定安裝在所述真空腔體的外側壁上。
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