[實用新型]一種自動切換式修正機構

有效

• 申請號: 201920463253.0
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN209798082U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 王福平
• 申請（專利權）人: 愛發科真空技術(蘇州)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 11275 北京同恒源知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉憲池

本實用新型涉及高真空蒸發鍍膜設備領域，公開了一種自動切換式修正機構，安裝在鍍膜設備的真空腔體上，其包括支桿、修正板和旋轉馬達；支桿一端穿過伸出真空腔體，支桿的另一端可轉動的設置在真空腔體上；修正板固定安裝在支桿上，修正板包括呈十字型交叉設置的第一修板和第二修板；當第一修板與公轉鍍鍋平行相對，修正板處于第一修正狀態；當第二修板與公轉鍍鍋平行相對，修正板處于第二修正狀態；伸出端與旋轉馬達連接；旋轉馬達每轉動一次，則控制支桿繞自身軸線轉動90度，從而控制修正板切換到第一修正狀態或第二修正狀態。通過上述方式，本實用新型能夠滿足蒸發特性相反的金屬、在同一批次蒸發鍍膜時、自動切換到對應形狀的修板。

技術領域

本實用新型涉及高真空蒸發鍍膜設備領域，特別是涉及一種自動切換式修正機構。

背景技術

在高真空蒸發鍍膜設備領域，對于鍍膜均勻性要求高的工藝，通常采用公轉鍍鍋的方式進行蒸發鍍膜。公轉方式蒸發鍍膜，由于蒸發源通常設置在鍍鍋中心正下方的腔體底面上，所以在蒸發鍍膜時，靠近鍍鍋中心部位的膜比較厚，靠近鍍鍋邊緣部分的膜比較薄，因此通常在鍍鍋的下部安裝修正板來解決該膜厚均勻性的問題。

現有的修正板是采用固定式柳葉型的修正板。具體為：在鍍鍋的下部安裝一個固定的橫桿，修正板直接通過螺絲固定在橫桿上。當金屬蒸發時，由于修正板的遮擋，鍍鍋中心部位基片蒸發到的金屬相對減少，從而可使鍍鍋中心部位基片的蒸發膜厚度與鍍鍋邊緣基片蒸發膜厚度近似相等，實現較高的均勻性，提高鍍膜產品的品質。

現有的修正板雖然能夠起到修正模厚均勻性的作用，但是當同一批次蒸發鍍膜需要先后蒸發幾種不同的金屬時，特別是當金屬的蒸發分布特性相反時，由于固定式的修正板無法移動，基片鍍膜的高均勻性就無法實現，從而會影響產品的品質和優良率。因為不同的金屬進行先后蒸發鍍膜時，會出現這樣的現象：一種金屬的蒸發特性是靠近鍍鍋中心的部位膜厚比較厚，其所需修正板的形狀就是靠近鍍鍋中心部位的面積較大、靠近鍍鍋邊緣部位的面積較小，這樣才可以把鍍鍋中心部分蒸發膜厚的地方進行遮擋，使蒸發到的金屬減少、膜厚變薄，達到與邊緣部分近似相等；另一種金屬的蒸發特性與前一種金屬正好相反，是靠近鍍鍋邊緣的部位膜厚比較厚，那么這種金屬所需修正板的形狀就是靠近鍍鍋中心部位的遮擋面積要小、靠近鍍鍋邊緣部位的遮擋面積要大；也就是說兩種金屬所需的修正板形狀截然不同。但由于蒸發鍍膜需要一批次鍍完這蒸發特性相反的金屬(如果在鍍完一層膜，把鍍膜需要的高真空破壞掉，手動更換修正板后，再次抽真空鍍膜的話，均勻性可以滿足，但是由于中途進行了真空破壞，金屬間的結合力受到影響，從而影響產品的品質)，現有的修正板又是固定式的，中途不能進行相應的更換，所以現有的修正機構無法得到高均勻性分布的多層膜，進而會影響到產品的品質與優良率。

因此，需要設計一種能夠解決上述技術問題的修正機構。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種自動切換式修正機構，能夠滿足蒸發特性相反的金屬、在同一批次蒸發鍍膜時、自動切換到對應形狀的修板。