[實用新型]一種捕集器及裝有捕集器的排氣系統

有效

• 申請號: 201920462577.2
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN209752528U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 王福平
• 申請（專利權）人: 愛發科真空技術(蘇州)有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D49/00
• 代理公司: 11275 北京同恒源知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉憲池

本實用新型涉及干法蝕刻設備領域，公開了一種捕集器及裝有捕集器的排氣系統。裝有捕集器的排氣系統包括依次連接的分子泵、捕集器、真空配管、干泵、洗滌塔；捕集器包括筒體、第一蓋板、第二蓋板、進氣配管和出氣配管；第一蓋板和第二蓋板封閉筒體內腔以形成密閉的捕集室；筒體的筒壁中設有包裹捕集室的冷腔；進氣配管出氣端穿過第一蓋板伸入到捕集室內，出氣配管進氣端穿過第二蓋板伸入到捕集室內，進氣配管出氣端的端口平面過出氣配管進氣端的端口平面，以使從進氣配管流入的排氣、在捕集室內呈Z字型流動、進而再從出氣配管流出。通過上述方式，本實用新型能夠有效的避免干泵出現卡死或轉子磨損的情況，延長干泵使用壽命，降低干泵維護成本。

技術領域

本實用新型涉及干法蝕刻設備領域，特別是涉及一種捕集器及裝有捕集器的排氣系統。

背景技術

在真空干法蝕刻設備領域，通常采用光刻膠作為掩膜。光刻膠在蝕刻過程中會隨被蝕刻物質一起蝕刻下來，再通過排氣系統處理排出?，F有的真空干法蝕刻設備，其排氣系統是在蝕刻腔體7部分設置一個分子泵1，分子泵1的吸氣口采用自動調壓閥門11與蝕刻腔體7相連，分子泵1的出氣口通過真空閥門12與真空配管2的進氣口相連，真空配管2的出氣口設置有一個干泵3，干泵3用于分子泵1的排氣，干泵3還與除害裝置連通，如圖1所示。在干泵3的抽氣作用下，蝕刻下來的光刻膠會隨著蝕刻物質從蝕刻腔體7到達分子泵1，然后通過分子泵1、真空配管2，到達干泵3，干泵3再排出到除害裝置(洗滌塔5)，進行無害化處理后，達到排放標準的氣體排出到空氣中。但是光刻膠的粘性比較大，光刻膠粒子在通過分子泵1、到達干泵3時，由于溫度的不斷降低，光刻膠和蝕刻生成物的揮發性減弱降低，容易在管道和干泵3內凝結聚集；干泵3的轉子間間距很小，凝結的光刻膠和生成物容易堵塞轉子間的間距，造成干泵3卡死或轉子磨損。為了避免這種現象，可以頻繁性的清洗和保養轉子，但該維護方式成本較高，恢復周期比較長，且較為繁瑣。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種捕集器及裝有捕集器的排氣系統，裝有捕集器的排氣系統能夠有效的避免干泵出現卡死或轉子磨損的情況，延長干泵的使用壽命和保養周期，大幅度降低了干泵的維護成本。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種捕集器，包括：筒體、第一蓋板、第二蓋板、進氣配管和出氣配管；所述第一蓋板和所述第二蓋板分別可拆卸的固定安裝在所述筒體的兩端，所述第一蓋板和所述第二蓋板封閉所述筒體的內腔、以形成密閉的捕集室；所述筒體的筒壁中設有包裹所述捕集室以對捕集室進行降溫的冷腔，所述冷腔內具有循環流動的冷卻水或冷卻液；所述進氣配管固定安裝在所述第一蓋板上，所述進氣配管的進氣端為所述捕集器的進氣口，所述進氣配管的出氣端穿過所述第一蓋板伸入到所述捕集室內；所述出氣配管固定安裝在所述第二蓋板上，所述出氣配管的進氣端穿過所述第二蓋板伸入到所述捕集室內，所述出氣配管的出氣端為所述捕集器的出氣口；所述進氣配管出氣端的端口平面過所述出氣配管進氣端的端口平面，以使從所述進氣配管流入的排氣、在所述捕集室內呈Z字型流動、進而再從所述出氣配管流出。

優選的，所述筒體包括內筒和固定套設在所述內筒上的外筒，所述內筒和所述外筒之間形成的密閉空腔為所述冷腔；所述外筒上設置有與所述冷腔相通的進水口和出水口。

優選的，所述進水口和所述出水口分別位于所述外筒的兩側及兩端，即進水口和出水口呈對角線相對。

優選的，所述第一蓋板和所述第二蓋板均通過螺絲固定安裝在所述筒體上；所述第一蓋板與所述筒體的端部之間、以及所述第二蓋板與所述筒體的端部之間，均設有密封圈。