[實用新型]一種捕集器及裝有捕集器的排氣系統

有效

• 申請號: 201920462577.2
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN209752528U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 王福平
• 申請（專利權）人: 愛發科真空技術(蘇州)有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D49/00
• 代理公司: 11275 北京同恒源知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉憲池

1.一種捕集器，其特征在于，包括：筒體、第一蓋板、第二蓋板、進氣配管和出氣配管；所述第一蓋板和所述第二蓋板分別可拆卸的固定安裝在所述筒體的兩端，所述第一蓋板和所述第二蓋板封閉所述筒體的內腔、以形成密閉的捕集室；所述筒體的筒壁中設有包裹所述捕集室以對捕集室進行降溫的冷腔，所述冷腔內具有循環流動的冷卻水或冷卻液；所述進氣配管固定安裝在所述第一蓋板上，所述進氣配管的進氣端為所述捕集器的進氣口，所述進氣配管的出氣端穿過所述第一蓋板伸入到所述捕集室內；所述出氣配管固定安裝在所述第二蓋板上，所述出氣配管的進氣端穿過所述第二蓋板伸入到所述捕集室內，所述出氣配管的出氣端為所述捕集器的出氣口；所述進氣配管出氣端的端口平面過所述出氣配管進氣端的端口平面，以使從所述進氣配管流入的排氣、在所述捕集室內呈Z字型流動、進而再從所述出氣配管流出。

2.根據權利要求1所述的一種捕集器，其特征在于：所述筒體包括內筒和固定套設在所述內筒上的外筒，所述內筒和所述外筒之間形成的密閉空腔為所述冷腔；所述外筒上設置有與所述冷腔相通的進水口和出水口。

3.根據權利要求2所述的一種捕集器，其特征在于：所述進水口和所述出水口分別位于所述外筒的兩側及兩端，即進水口和出水口呈對角線相對。

4.根據權利要求1所述的一種捕集器，其特征在于：所述第一蓋板和所述第二蓋板均通過螺絲固定安裝在所述筒體上；所述第一蓋板與所述筒體的端部之間、以及所述第二蓋板與所述筒體的端部之間，均設有密封圈。

5.一種裝有捕集器的排氣系統，包括依次連接的分子泵、真空配管、干泵、洗滌塔，其特征在于：還包括捕集器，所述捕集器設置在分子泵、真空配管之間；所述捕集器包括筒體、第一蓋板、第二蓋板、進氣配管和出氣配管；所述第一蓋板和所述第二蓋板分別可拆卸的固定安裝在所述筒體的兩端，所述第一蓋板和所述第二蓋板封閉所述筒體的內腔、以形成密閉的捕集室；所述筒體的筒壁中設有包裹所述捕集室以對捕集室進行降溫的冷腔，所述冷腔內具有循環流動的冷卻水或冷卻液；所述進氣配管固定安裝在所述第一蓋板上，所述進氣配管的進氣端為所述捕集器的進氣口，所述進氣配管的出氣端穿過所述第一蓋板伸入到所述捕集室內；所述出氣配管固定安裝在所述第二蓋板上，所述出氣配管的進氣端穿過所述第二蓋板伸入到所述捕集室內，所述出氣配管的出氣端為所述捕集器的出氣口；所述進氣配管出氣端的端口平面過所述出氣配管進氣端的端口平面，以使從所述進氣配管流入的排氣、在所述捕集室內呈Z字型流動、進而再從所述出氣配管流出。

6.根據權利要求5所述的一種裝有捕集器的排氣系統，其特征在于：所述筒體包括內筒和固定套設在所述內筒上的外筒，所述內筒和所述外筒之間形成的密閉空腔為所述冷腔；所述外筒上設置有與所述冷腔相通的進水口和出水口。

7.根據權利要求6所述的一種裝有捕集器的排氣系統，其特征在于：所述進水口和所述出水口分別位于所述外筒的兩側及兩端，即進水口和出水口呈對角線相對。

8.根據權利要求5所述的一種裝有捕集器的排氣系統，其特征在于：所述第一蓋板和所述第二蓋板均通過螺絲固定安裝在所述筒體上；所述第一蓋板與所述筒體的端部之間、以及所述第二蓋板與所述筒體的端部之間，均設有密封圈。

9.根據權利要求5或6或7或8所述的一種裝有捕集器的排氣系統，其特征在于：所述分子泵的吸氣口通過自動調壓閥門與蝕刻腔體連接；所述分子泵的出氣口通過真空閥門與所述捕集器的進氣口連接，所述捕集器的出氣口與所述真空配管的進氣口連接，所述真空配管的出氣口與所述干泵的進氣口連接，所述干泵的出氣口通過尾排管道與所述洗滌塔連通。