[實用新型]一種靜電多通路的束流偏轉裝置

有效

• 申請號: 201920446508.2
• 申請日: 2019-04-03
• 公開（公告）號: CN209912833U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 郭盤林
• 申請（專利權）人: 郭盤林
• 主分類號: H01J3/34
• 分類號: H01J3/34
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務所
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型提供一種靜電多通路的束流偏轉裝置，涉及帶電粒子束流輸運技術領域，包括真空室、偏轉電極和修正電極；所述偏轉電極均勻分布于所述真空室的內部；所述修正電極設置于兩所述偏轉電極之間。本實用新型結構簡潔、體積小巧、操作簡單，偏轉能量強。偏轉電極采用圓柱形結構且均勻分布，對稱性好，有效提升機械加工精度和使用安裝精度，從而有效提高本實用新型的靜電多通路的束流偏轉裝置的精度。

技術領域

本實用新型涉及帶電粒子束流輸運技術領域，尤其涉及一種靜電多通路的束流偏轉裝置。

背景技術

靜電偏轉是用于在例如陰極射線管、光刻機器、掃描電子顯微鏡及一些其他分析儀器中的表面上掃描電子束。一般通過在電子束穿過的一對電極上施加電壓差來獲得靜電偏轉。靜電束流偏轉器是帶電粒子束輸運系統中最常用的束流光學部件之一，其作用是將軸向注入的束流偏轉一定角度后進入加速器的中心平面。靜電束流偏轉器作為注入元件對束流得中和光學性質影響極大。在需要進行小角度偏轉時，常用雙極式結構，包括平行直板式、傾斜式、傾斜彎板式等；在需要進行大角度偏轉時，常用同軸圓柱面或同心球面結構。

采用靜電偏轉實現多通路束流偏轉時，通常既要考慮束流的小角度偏轉，又要考慮束流的大角度偏轉。把不同結構的偏轉電極整合在一起，既要考慮安裝的方便，又要考慮偏轉電極的耐壓，使得現有的偏轉器具有非常復雜的結構，且體積龐大，給機械加工過程和使用過程帶來極大的不便。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型提供一種靜電多通路的束流偏轉裝置，具體包括：真空室、偏轉電極和修正電極；

所述偏轉電極均勻分布于所述真空室的內部；

所述修正電極設置于兩所述偏轉電極之間。

優選的，述真空室和所述修正電極為地電位。

優選的，所述偏轉電極為圓柱形電極。

優選的，施加于所述偏轉電極的電壓大小以及所述偏轉電極的極性根據所述帶電粒子束流的束流能量、粒子電荷數以及擬偏轉角度進行設定。

優選的，所述偏轉電極為四個。

優選的，所述偏轉電極為六個。

優選的，所述偏轉電極為八個。

上述技術方案具有如下優點或有益效果：

1)結構簡潔、體積小巧、操作簡單，偏轉能量強。

2)偏轉電極采用圓柱形結構且均勻分布，對稱性好，有效提升機械加工精度和使用安裝精度，從而有效提高本實用新型的靜電多通路的束流偏轉裝置的精度。

附圖說明

圖1為本實用新型的較佳的實施例中，一種靜電多通路的束流偏轉裝置的工作原理示意圖；

圖2為本實用新型的較佳的實施例中，偏轉電極和修正電極的剖面示意圖；

圖3為本實用新型的較佳的實施例中，偏轉電場的電場等位線的分布示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。本實用新型并不限定于該實施方式，只要符合本實用新型的主旨，則其他實施方式也可以屬于本實用新型的范疇。

本實用新型的較佳的實施例中，基于現有技術中存在的上述問題，現提供一種靜電多通路的束流偏轉裝置，如圖1所示，具有八個偏轉電極1，能夠實現帶電粒子束流發生45度和/或90度的偏轉；

上述靜電多通路的束流偏轉裝置具體包括：

真空室3，用于為帶電粒子束流的傳輸提供真空環境；