[實用新型]一種靜電多通路的束流偏轉裝置有效
| 申請號： | 201920446508.2 | 申請日： | 2019-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN209912833U | 公開（公告）日： | 2020-01-07 |
| 發明（設計）人： | 郭盤林 | 申請（專利權）人： | 郭盤林 |
| 主分類號： | H01J3/34 | 分類號： | H01J3/34 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律師事務所 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偏轉電極 本實用新型 束流偏轉裝置 靜電 多通路 真空室 偏轉 修正 帶電粒子束流 圓柱形結構 電極設置 機械加工 電極 輸運 | ||
【權利要求書】：
1.一種靜電多通路的束流偏轉裝置，其特征在于，具體包括:真空室、偏轉電極和修正電極；
一帶電粒子束流于所述真空室內進行傳輸；
所述偏轉電極均勻分布于所述真空室的內部；
所述修正電極設置于兩所述偏轉電極之間。
2.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，所述真空室和所述修正電極為地電位。
3.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，所述偏轉電極為圓柱形電極。
4.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，施加于所述偏轉電極的電壓大小以及所述偏轉電極的極性根據所述帶電粒子束流的束流能量、粒子電荷數以及擬偏轉角度進行設定。
5.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，所述偏轉電極為四個。
6.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，所述偏轉電極為六個。
7.根據權利要求1所述的束流偏轉裝置，其特征在于，所述偏轉電極為八個。
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