[實用新型]一種半導體晶圓檢測的多功能設備箱

有效

• 申請號: 201920442569.1
• 申請日: 2019-04-03
• 公開（公告）號: CN209591982U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 王俊;金嘉輝;周魏;程宏;王勤;傅丁丁
• 申請（專利權）人: 杭州載力科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：包括箱體(1)，散熱孔(2)，指示燈(3)，放置機構(4)，觀察窗(5)，送料機構(6)，萬向輪(7)和急停開關(8)，所述送料機構(6)通過螺栓固定在箱體(1)前側的中間位置；所述萬向輪(7)采用四個，通過螺栓固定在箱體(1)的下方四角；所述散熱孔(2)采用多個，開設在箱體(1)前側的下方，位于送料機構(6)的兩側；所述觀察窗(5)嵌裝在箱體(1)前側的中間位置，位于送料機構(6)的右側；所述急停開關(8)嵌裝在箱體(1)的前側，位于觀察窗(5)的下方；所述指示燈(3)通過螺紋固定在箱體(1)上方的右側；所述放置機構(4)通過螺栓固定在箱體(1)右側的中間位置。

2.如權利要求1所述的半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：所述指示燈(3)和急停開關(8)通過導線分別與檢測機構相連；所述指示燈(3)設置有紅色、黃色、綠色、藍色四種顏色；所述萬向輪(7)設置有鎖止板；所述散熱孔(2)的內側設置有防塵網。

3.如權利要求1所述的半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：所述放置機構(4)包括固定板(41)，支撐桿(42)，托盤(43)，支撐板(44)，調節板(45)和通槽(46)，所述固定板(41)通過螺栓固定在箱體(1)右側前端的中間位置；所述支撐桿(42)通過螺栓固定在固定板(41)右側的中間位置；所述支撐板(44)通過螺栓固定在支撐桿(42)的前側；所述通槽(46)開設在支撐板(44)的中間位置；所述調節板(45)通過翼形螺栓固定在通槽(46)的前側；所述托盤(43)通過螺栓固定在支撐板(44)下方的前側。

4.如權利要求3所述的半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：所述調節板(45)的后側設置有翼形螺栓，且翼形螺栓的尺寸與通槽(46)的尺寸匹配；所述托盤(43)的前側設置有擋板。

5.如權利要求1所述的半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：所述送料機構(6)包括送料框(61)，支柱(62)，送料口(63)和放置板(64)，所述送料框(61)通過螺栓固定在箱體(1)前側的中間位置；所述送料口(63)開設在送料框(61)的中間位置；所述支柱(62)通過螺栓固定在送料框(61)的前側，位于送料口(63)的下方；所述放置板(64)通過螺栓固定在支柱(62)的上方。

6.如權利要求5所述的半導體晶圓檢測的多功能設備箱，其特征在于：所述送料口(63)的尺寸大于半導體晶圓的尺寸；所述放置板(64)的尺寸大于半導體晶圓的尺寸；所述支柱(62)的上端與托盤(43)的下方對齊；所述送料框(61)的高度等于箱體(1)的高度。