[實(shí)用新型]芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920442032.5 | 申請(qǐng)日: | 2019-04-01 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN210223955U | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-03-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 茍剛;王旭;常俊山;譚志強(qiáng);周佳;肖六生 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 瑞斯康微電子(深圳)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
| 地址: | 518055 廣東省深圳市*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 打點(diǎn) 標(biāo)識(shí) 裝置 | ||
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置,屬于芯片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置包括芯片承載平臺(tái)、網(wǎng)板以及噴涂模塊,所述網(wǎng)板位于所述噴涂模塊與所述承載平臺(tái)之間,所述網(wǎng)板上設(shè)有若干供墨水通過(guò)的過(guò)墨孔。本實(shí)用新型的芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置可以快速對(duì)芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)識(shí),效率得到顯著提升。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及芯片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置。
背景技術(shù)
為了便于區(qū)分燒錄程序前后的不同狀態(tài)的芯片,目前普遍采用兩種方式進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)識(shí):一種為手工打點(diǎn),操作人員采用記號(hào)筆手工進(jìn)行打點(diǎn),即便是熟練的操作人員,其打點(diǎn)效率仍然很低;另一種為機(jī)器打點(diǎn),采用具備運(yùn)行XY坐標(biāo)定位的打點(diǎn)設(shè)備,以單個(gè)芯片標(biāo)識(shí),逐個(gè)打點(diǎn)作業(yè),這種打點(diǎn)設(shè)備每次只能打一個(gè)標(biāo)識(shí)點(diǎn),整體效率仍然十分低下,難以滿足生產(chǎn)的需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種可快速高效打點(diǎn)標(biāo)識(shí)的芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置。
本實(shí)用新型實(shí)施例解決上述技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案為:提供一種芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置,包括芯片承載平臺(tái)、網(wǎng)板以及噴涂模塊,所述網(wǎng)板位于所述噴涂模塊與所述承載平臺(tái)之間,所述網(wǎng)板上設(shè)有若干供墨水通過(guò)的過(guò)墨孔。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述網(wǎng)板可相對(duì)承載平臺(tái)上下移動(dòng)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),還包括箱體,所述箱體的下端開(kāi)口設(shè)置,所述網(wǎng)板固設(shè)于所述箱體的下端開(kāi)口處,所述噴涂模塊設(shè)于所述箱體內(nèi)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述箱體上連接有氣缸,在所述氣缸的驅(qū)動(dòng)下,所述網(wǎng)板可隨所述箱體上下移動(dòng)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述噴涂模塊包括噴涂頭,所述箱體內(nèi)固設(shè)有導(dǎo)軌,所述噴涂頭可滑動(dòng)地設(shè)置于所述導(dǎo)軌上。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述噴涂頭包括至少2個(gè)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述箱體與所述網(wǎng)板形成一封閉結(jié)構(gòu)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),還包括抽風(fēng)管,所述抽風(fēng)管一端與所述箱體連通,所述抽風(fēng)管另一端連接抽風(fēng)裝置。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),所述承載平臺(tái)包括首尾相連的進(jìn)料區(qū)、噴涂區(qū)、干燥區(qū)以及出料區(qū),所述進(jìn)料區(qū)、所述噴涂區(qū)、所述干燥區(qū)以及所述出料區(qū)均設(shè)有用于放置芯片的定位槽。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn),還包括干燥模塊,所述干燥模塊設(shè)于所述干燥區(qū)上方。
本實(shí)用新型的有益效果:
本實(shí)用新型的芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置,在噴涂模塊與承載平臺(tái)之間設(shè)置網(wǎng)板,在網(wǎng)板上設(shè)置若干過(guò)墨孔,噴涂模塊噴出的墨水通過(guò)網(wǎng)板的過(guò)墨孔,然后噴涂到需要打點(diǎn)的芯片上,通過(guò)網(wǎng)板的設(shè)置,可以將芯片上不需要噴涂的地方遮擋,而只留出需要打點(diǎn)的位置,噴涂模塊只要整體噴涂就可快速完成整個(gè)芯片的打點(diǎn),顯著提高了芯片的打點(diǎn)效率。
附圖說(shuō)明
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
圖1為本實(shí)用新型芯片打點(diǎn)標(biāo)識(shí)裝置一個(gè)實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型網(wǎng)板一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本實(shí)用新型噴涂模塊一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型的構(gòu)思、具體結(jié)構(gòu)及產(chǎn)生的技術(shù)效果進(jìn)行清楚、完整的描述,以充分地理解本實(shí)用新型的目的、方案和效果。需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





