[實用新型]玻璃基板的清洗裝置

有效

• 申請號: 201920441348.2
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN209792056U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 山本好睛;中塚弘樹;奧隼人
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B11/04;B08B11/02
• 代理公司: 11021 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 劉影娜

即使在使輥刷向與玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉的情況下，也能夠抑制玻璃基板的撓曲等變形的玻璃基板的清洗裝置。玻璃基板的清洗裝置一邊沿著輸送方向輸送玻璃基板，一邊對其進行清洗，所述玻璃基板的清洗裝置具備：輸送部，其具有多根輥，多根輥通過被驅動旋轉而在水平方向上輸送所述玻璃基板；上側輥刷，其用于清洗所述玻璃基板的上表面；下側輥刷，其用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及兩端保持部即夾送輥，其配置在所述上側輥刷的輸送方向上的上游側及下游側，用于將所述玻璃基板的上表面側的寬度方向兩端部向下方按壓。所述上側輥刷及所述下側輥刷向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉。

技術領域

本實用新型涉及玻璃基板的清洗裝置的技術。

背景技術

一般情況下，在制造液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示器(FPD)用的玻璃基板時，在制造過程中，進行為了將附著于玻璃基板的表面(具體而言，玻璃面中的形成有電子功能元件等的有效面)的微小的玻璃片、灰塵等異物除去的清洗處理。由此，玻璃基板的表面被凈化，在后續工序等中能夠在玻璃基板的表面上精度良好地形成電子功能元件等。

例如，專利文獻1公開有用于清洗玻璃板的上表面及下表面的玻璃板的清洗裝置。

專利文獻1公開的玻璃板的清洗裝置具備：通過旋轉驅動而將玻璃板在水平方向上輸送的多根輥；通過旋轉而清洗下表面的下側輥刷；以及通過旋轉而清洗上表面的上側輥刷。

在由這樣的玻璃板的清洗裝置執行的清洗工序中，在由輥刷清洗玻璃板時，為了增加作用于玻璃板的摩擦力，一般情況下，使輥刷的旋轉方向相對于玻璃板的行進方向(輸送方向)進行反向旋轉。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2015-89546號公報

實用新型內容

實用新型要解決的課題

然而，在由上述的玻璃板的清洗裝置使輥刷向與玻璃板的行進方向相反的方向旋轉的情況下，在玻璃板上產生撓曲等變形，玻璃板有可能破損。即使在玻璃板不至于破損的情況下，玻璃板的行進速度也有時因上述的撓曲等變形而變慢，有時在多個玻璃板的輸送時，在玻璃板之間的輸送間隔產生差異。

因此，尋求即使在使輥刷向與玻璃的輸送方向相反的方向旋轉的情況下，也能夠抑制玻璃基板的撓曲等變形的玻璃基板的清洗裝置。

本實用新型是鑒于以上所示的現狀的問題點而完成的，其課題在于提供即使在使輥刷向與玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉的情況下，也能夠抑制玻璃基板的撓曲等變形的玻璃基板的清洗裝置。

用于解決課題的方案

本實用新型要解決的課題如以上那樣，接著對其用于解決課題的手段進行說明。

即，一種本實用新型的玻璃基板的清洗裝置，其一邊沿著輸送方向輸送玻璃基板一邊對該玻璃基板進行清洗，其特征在于，所述玻璃基板的清洗裝置具備：輸送部，其具有多根輸送輥，多根所述輸送輥通過被驅動旋轉而在水平方向上輸送所述玻璃基板；上側輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉，用于清洗所述玻璃基板的上表面；下側輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及兩端保持部，其配置在所述上側輥刷的輸送方向的上游側及下游側，用于將所述玻璃基板的上表面側的寬度方向兩端部向下方按壓。

根據由這樣的結構構成的玻璃基板的清洗裝置，即使在使上側輥刷及下側輥刷向與玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉的情況下，由于向下方按壓由兩端保持部保持的玻璃基板的上表面，因此能夠抑制玻璃基板的撓曲等變形而保持良好的清洗能力。

另外，在本實用新型的玻璃基板的清洗裝置中，優選的是，所述兩端保持部是與所述輸送輥一起夾著所述玻璃基板的夾送輥。