[實(shí)用新型]玻璃基板的清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920441348.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-04-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209792056U | 公開（公告）日： | 2019-12-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 山本好睛;中塚弘樹;奧隼人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本電氣硝子株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | B08B1/02 | 分類號(hào)： | B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B11/04;B08B11/02 |
| 代理公司： | 11021 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 劉影娜 |
| 地址： | 日本國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃基板 側(cè)輥 清洗裝置 清洗 方向相反 方向旋轉(zhuǎn) 上表面 按壓 驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn) 變形的 夾送輥 兩端部 下表面 輥刷 撓曲 上游 配置 | ||
1.一種玻璃基板的清洗裝置，其一邊沿著輸送方向輸送玻璃基板一邊對(duì)該玻璃基板進(jìn)行清洗，其特征在于，
所述玻璃基板的清洗裝置具備：
輸送部，其具有多根輸送輥，多根所述輸送輥通過被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)而在水平方向上輸送所述玻璃基板；
上側(cè)輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，用于清洗所述玻璃基板的上表面；
下側(cè)輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及
兩端保持部，其配置在所述上側(cè)輥刷的輸送方向的上游側(cè)及下游側(cè)，用于將所述玻璃基板的上表面?zhèn)鹊膶挾确较騼啥瞬肯蛳路桨磯骸?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的清洗裝置，其特征在于，
所述兩端保持部是與所述輸送輥一起夾著所述玻璃基板的夾送輥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板的清洗裝置，其特征在于，
所述夾送輥與所述輸送部一體設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的玻璃基板的清洗裝置，其特征在于，
所述玻璃基板的清洗裝置還具備沖洗部，該沖洗部在所述上側(cè)輥刷的下游側(cè)所配置的所述兩端保持部的下游側(cè)，對(duì)所述玻璃基板噴射沖洗液。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板的清洗裝置，其特征在于，
所述玻璃基板的清洗裝置還具備盤清洗部，該盤清洗部在所述上側(cè)輥刷的上游側(cè)所配置的兩端保持部的上游側(cè)，使盤狀的清洗構(gòu)件與所述玻璃基板接觸，通過驅(qū)動(dòng)所述盤狀的清洗構(gòu)件旋轉(zhuǎn)而清洗所述玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板的清洗裝置，其特征在于，
所述玻璃基板的清洗裝置還具備輥刷清洗部，該輥刷清洗部在所述盤清洗部的上游側(cè)利用輥刷清洗所述玻璃基板，
所述輥刷清洗部具有：
上側(cè)輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，用于清洗所述玻璃基板的上表面；
下側(cè)輥刷，其向與所述玻璃基板的輸送方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及
壓輥，其在所述上側(cè)輥刷及所述下側(cè)輥刷的上游側(cè)及下游側(cè)夾持所述玻璃基板的兩表面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
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