[實用新型]晶圓運載盒

有效

• 申請號: 201920433437.2
• 申請日: 2019-04-01
• 公開（公告）號: CN209757895U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 邱銘隆;陳延方
• 申請（專利權）人: 中勤實業股份有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10
• 代理公司: 11355 北京泰吉知識產權代理有限公司
• 代理人: 張雅軍;史瞳

一種晶圓運載盒，包含外殼及限位單元。該外殼包括底座及可分離地蓋合于該底座的上蓋，該上蓋具有第一導引部。該限位單元包括設于該上蓋的上保持件及可拆離地設于該底座的卡匣件，該上保持件與該卡匣件適于共同將多個晶圓限位。該卡匣件具有第二導引部，該第二導引部與該第一導引部相配合以在該上蓋與該底座蓋合過程中導引該上蓋與該卡匣件相互對位。借此可使晶圓運載盒的上蓋在蓋合過程中受到導引而確保上保持件與晶圓相對正，從而降低晶圓損傷或破裂的風險，并且能使上蓋與底座較容易對位蓋合。

技術領域

本實用新型涉及一種用于儲存及運輸物品的容器，特別是涉及一種用于儲存及運輸晶圓的晶圓運載盒。

背景技術

現今半導體業界用來運送晶圓的一種晶圓運載盒，通常包括一底座及一與該底座蓋合的上蓋。上蓋內側設有一上保持件，且在底座設有一可拆離的卡匣件。卡匣件具有多個插置晶圓用的溝槽，上保持件則具有多個分別與各溝槽對應的彈力臂，相鄰的彈力臂之間具有縫隙，而各彈力臂上又設有凹槽。通過卡匣件的這些溝槽與上保持件的這些彈力臂以及凹槽，可以將多個晶圓保持定位，使晶圓之間不會互相碰撞。在將晶圓裝載于晶圓運載盒時，通常是先將晶圓放置于卡匣件的各溝槽中，然后再將卡匣件放置于底座，最后再將上蓋對正底座蓋合。理想上，在上蓋與底座蓋合的過程中，上保持件的各彈力臂及其上的凹槽會對應各晶圓頂端的位置而將晶圓固持定位。

然而，容裝有晶圓的卡匣件在被放置于底座中時，其位置會在一公差范圍內變動，使得上蓋在向底座蓋合的過程中，上保持件也可能會相對于晶圓頂端的位置稍有偏差，因而使得上蓋蓋合于底座上之后，晶圓頂端經常沒有正確地被容置于上保持件的凹槽內，導致晶圓被凹槽的側壁擠壓而破裂。再加上目前晶圓的厚度越來越薄，有些薄化晶圓的厚度甚至低達100μm以下，因此不僅極易受損，而且其較薄的厚度使得其在被放入卡匣件的溝槽內之后，與溝槽之間的間隙會較為寬大，因而容易產生較大的傾斜，致使這些薄化晶圓的頂端更容易插入上保持件的彈力臂間的縫隙而受損。

發明內容

本實用新型的其中一目的在于提供一種可以提高上保持件與晶圓相互對位的精確度、降低晶圓受損或破裂風險的晶圓運載盒。

本實用新型的晶圓運載盒在一些實施態樣中，是包含外殼及限位單元。該外殼包括底座及可分離地蓋合于該底座的上蓋，該上蓋具有第一導引部。該限位單元包括設于該上蓋的上保持件及可拆離地設于該底座的卡匣件，該上保持件與該卡匣件適于共同將多個晶圓限位。該卡匣件具有第二導引部，該第二導引部與該第一導引部相配合以在該上蓋與該底座蓋合過程中導引該上蓋與該卡匣件相互對位。

在一些實施態樣中，該卡匣件具有兩個彼此相對且相間隔的限位壁，所述限位壁各具有壁本體及頂側凸緣。所述壁本體對應形成多個各自在上下方向延伸且彼此并排的溝槽，各該頂側凸緣自其相連的該壁本體靠近該上蓋的一端延伸且所述限位壁的所述頂側凸緣彼此往相反且相互遠離的方向延伸，該第二導引部形成于所述頂側凸緣上。

在一些實施態樣中，該上蓋還具有頂壁及連接該頂壁周側以與該底座相接的圍繞壁。該第一導引部包括兩個分別自該圍繞壁的兩相對的內表面朝向對側凸出并在該上下方向延伸且呈長條形的凸塊或凸肋，該第二導引部包括兩個分別形成于所述頂側凸緣且分別配合所述凸塊或凸肋的缺口。

在一些實施態樣中，各該頂側凸緣分別形成有兩個或以上的該缺口，該圍繞壁與各該頂側凸緣對應的內側分別設置或形成有至少一個與所述缺口之一對應的該凸塊或凸肋。

在一些實施態樣中，該第一導引部與該第二導引部的相對位置構造成在該上蓋與該底座蓋合過程中先于該上保持件與晶圓接觸前相互作用導引。

在一些實施態樣中，該第一導引部的底端相較于該上保持件的最低處更靠近該底座的底面。

在一些實施態樣中，該第二導引部相較于容置在該卡匣件的晶圓頂端更靠近該上蓋頂面。